激光剝蝕進樣系統(tǒng)一般包括高能量的激光器、聚焦激光的光學系統(tǒng)及相應的控制單元、樣品燒蝕室以及使產(chǎn)生的氣溶膠有效傳輸至等離子體的接口裝置等。高能量的激光束經(jīng)過聚焦后照射在試樣表面，對試樣表面進行微區(qū)剝蝕，產(chǎn)生的氣溶膠和細微顆粒與從樣品室底部以切線方向引入的環(huán)繞樣品的氬氣流形成氣溶膠，從樣品室的頂部或側面引出，由連接管引至ICP炬管(去除霧化器和霧室)。激光剝蝕系統(tǒng)在提高空間分辨率(<10μm)、提高物質吸收率、降低分餾效應、改善測量精密度等方面都獲得重大改進。

美國CETAC的激光剝蝕產(chǎn)品線包括213nm固態(tài)激光系統(tǒng)、193nm準分子激光系統(tǒng)、飛秒激光系統(tǒng)（與ICP-MS聯(lián)用），及CO2和二極管激光熔融系統(tǒng)（與惰性氣體同位素質譜聯(lián)用），此外多種高性能配件與更加直觀的分析軟件能夠增強并完善系統(tǒng)的功能。產(chǎn)品廣泛用于地質、考古、材料、法醫(yī)、生化、制藥等領域，足以為元素分析用戶提供先進的激光剝蝕技術。 

Excite Pharos 飛秒激光剝蝕系統(tǒng)是市面上很具操作性的飛秒系統(tǒng)，采用結構緊湊、全密閉的工業(yè)級激光源，無需二次校準和清潔維護。系統(tǒng)提供多種波長可選，如1028nm、257nm、206nm，或配置多波長切換控制，相對應的能量密度為10J/cm2(1028nm)、5J/cm2(257nm)、3J/cm2(206nm)，在穩(wěn)定運行情況下剝蝕穩(wěn)定性RSD能達到0.1%。同時系統(tǒng)配備HelEx II雙體積雙氣路渦流樣品池，提供快速沖洗效率和持續(xù)的剝蝕環(huán)境。