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IGAR 6-TV Smart-半導體晶體生長測溫儀
  • IGAR 6-TV Smart-半導體晶體生長測溫儀
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貨物所在地:上海上海市

地: 德國

更新時間:2024-11-18 11:32:25

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半導體晶體生長測溫儀IGAR 6-TV Smart寬溫度范圍和多種操作模式:
單色模式: 100 ... 2550 °C
雙色模式: 250 ... 2550 °C
智能模式: 根據(jù)溫度自動在單色和雙色模式調(diào)節(jié)

IGAR 6 Smart紅外高溫計是一種數(shù)字,緊湊和快速的高溫計,根據(jù)不同的要求,可以在不同的模式下工作。 除了單色模式(100 ... 2550°C),還可以選擇雙色模式(250 ... 2550°C)或特殊的智能模式。在智能模式下,在100 ... 2550°C范圍內(nèi)的測量將采用單色模式,而在250 ...2000°C的范圍內(nèi),測量將采用雙色方法(比例法)。 在此模式下,用戶可以設置溫度。此時儀器從 單色模式轉換到 雙色模式(低轉變溫度:250°C,最小轉變范圍:30°C)。在雙色模式(比例法)中,兩個相鄰的波長用于溫度確定。 與標準單色高溫計相比,該技術具有以下優(yōu)點:溫度測量在很大程度上獨立于對象的發(fā)射率并且在大范圍內(nèi)不受視場中的灰塵和其它污染物的影響。 測量對象可以小于光斑尺寸。

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可解決的問題

  • 被測物可能被離子云包裹

  • 多次加熱工況中,對測溫儀重復性與穩(wěn)定性要求高

  • 襯底材料會發(fā)生變化,要求測溫儀有不同的應對方案

  • 須透過視窗測量,最好推薦使用紅外視窗材料

場景特點

  • 需維持在高溫狀態(tài)(LPCVD 500~800℃,MOCVD 500~1200℃)

  • 生產(chǎn)過程中隨著反應狀態(tài)的變化,溫度也需進行調(diào)整,故而對測溫儀的響應速度要求較高

技術參數(shù)

測溫范圍:

單色: 100 to 2550 °C

雙色: 250 to 2550 °C

子范圍:任何溫度范圍內(nèi)可調(diào)范圍,最小量程50°C

波段:Channel 1: 1.5 ... 1.6 μm;Channel 2: 2.0 ... 2.5 μm

發(fā)射率:0.050 到 1.000 ,0.001調(diào)節(jié)(單色模式)

分辨率:

在串口處:0.1°C;模擬輸出:<所選子范圍的0.0015%,最小。 0.1℃,16位; 1°C或1°F

鏡頭:可從后蓋手動對焦測量距離a = 210 至5000 mm

環(huán)境溫度:0 to 65°C 外殼

存儲溫度: -20 to +80°C

連接:12針連接器

防護等級:IP65 (IEC 60529)

環(huán)境溫度: 0 to 65°C 外殼

存放溫度:-20 to 80°C

模擬輸出:可調(diào)0至20 mA或4至20 mA,線性(通過數(shù)字接口)






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