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海德漢/發(fā)格/普斯克/三豐/新天/信和等光柵尺*度與分辨率有什么區(qū)別

時(shí)間:2020-5-30閱讀:3883

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*度(Precision)是指使用同種備用樣品進(jìn)行重復(fù)測(cè)定*得到的結(jié)果之間的重現(xiàn)性。測(cè)量*度(也常簡(jiǎn)稱*度)*,是指偶然誤差與系統(tǒng)誤差都比較小,這時(shí)測(cè)量數(shù) 據(jù)比較集中在真值附近。雖然*度*可說明*度*,但*的結(jié)果也可能是不*的。誤差是*度的表示,是實(shí)測(cè)值與真實(shí)值偏離程度,而偏差是*密度的表示,是平行測(cè)量間的相異程度。 *度表示測(cè)量結(jié)果的正確性,*密度表示測(cè)量結(jié)果的重復(fù)性和重現(xiàn)性,*密度是*度的前提條件。 普通意義的分辨率(resolution)就是屏幕圖像的*密度,是指顯示器*能顯示的像素的多少。對(duì)于光柵尺而言是指可以測(cè)量的小單位.對(duì)于傳感器的分辨率與*度的理解,可以拿千分尺為例,分辨率代表千分尺*多可以讀到小數(shù)點(diǎn)后幾位,但*度還與尺子的加工*度,測(cè)量方法有關(guān)系。 同樣的,在光柵尺的使用中,分辨率與*度是不同的兩個(gè)概念。
       光柵尺的分辨率,是指光柵尺可讀取并輸出的小長(zhǎng)度變化,對(duì)應(yīng)的參數(shù)有:每毫米光柵刻線數(shù)、脈沖數(shù)、細(xì)分等。比如50線光柵和100線光柵在同等條件下分辨率就不*樣,同等的50線光柵如果細(xì)分方法不*樣分辨率也會(huì)不*樣。
        光柵尺的*度,是指光柵尺輸出的信號(hào)數(shù)據(jù)對(duì)測(cè)量的真實(shí)長(zhǎng)度度的*度,對(duì)應(yīng)的參數(shù)是微米(μm)、納米(nm).目前*光柵尺分辨率*般有5μm、1μm、0.5μm、0.2μm、0.1μm。那么這些分辨率是怎么得來的呢? 以每毫米50線光柵為例,經(jīng)過4細(xì)分,就能得到很簡(jiǎn)單的5μm的分辨率,而不用采用電子細(xì)分,這也是目前*海德漢光柵尺機(jī)床尺的多數(shù)工藝,至于*分辨率的光柵尺,就必須采用電子細(xì)分技術(shù),增加插補(bǔ)細(xì)分器才能得到。*分辨率光柵尺*般應(yīng)用于儀器儀表如視頻儀、工具顯微鏡、CNC加工中心等。
影響光柵尺測(cè)量*度有如下幾個(gè)方面:
A:光學(xué)部分  B:機(jī)械部分  C:電氣部分  D:使用中的安裝與傳輸接收部分,使用后的*度下降,機(jī)械部分自身的偏差。
A、光學(xué)部分對(duì)*度的影響:
光柵尺玻璃—主要的是母尺*度、每毫米刻線數(shù)、刻線*度、刻線寬度*致性等。
光發(fā)射源—光的平行與*致性、光衰減。
光接收單元—讀取誤差、讀取響應(yīng)。
光學(xué)系統(tǒng)使用后的影響—污染,衰減。
B、機(jī)械部分對(duì)*度的影響:
安裝*度。軸承的*度與結(jié)構(gòu)*度。光學(xué)組建安裝的*度。 例如,就軸承的結(jié)構(gòu)而言,單軸承支撐結(jié)構(gòu)的軸承偏差無法消除,而且經(jīng)使用后偏差會(huì)更大,而雙軸承結(jié)構(gòu)或多支承結(jié)構(gòu),可有效降低單個(gè)軸承的偏差。
C、電氣部分對(duì)*度的影響:
電源的穩(wěn)定*度—對(duì)光發(fā)射源與接收單元的影響。讀取響應(yīng)與電氣處理電路帶來的誤差;電氣噪音影響,取決于光柵尺電氣系統(tǒng)的*干擾能力;例如,如果電子細(xì)分,也會(huì)帶來的誤差,按照德國(guó)海德漢提供的介紹,海德漢光柵尺的細(xì)分電氣誤差與正余弦曲線誤差會(huì)有*個(gè)很小的差異。
D、光柵尺使用中帶來的*度影響:

輸出電纜的*干擾與信號(hào)延遲(較長(zhǎng)距離或較快頻率下);
       接收設(shè)備的響應(yīng)與接收設(shè)備內(nèi)部處理可能的誤差。
       光柵尺*速位移時(shí)的動(dòng)態(tài)響應(yīng)偏差。
       常見的就是我們自己使用安裝的方法與安裝結(jié)果帶來的偏差。
       綜上*述,光柵尺的分辨率和*度其實(shí)是兩個(gè)不同的概念,但是二者有關(guān)聯(lián),*分辨率可以得到*的測(cè)量*度,但不是*分辨率*定能得到*的測(cè)量*度。在同等條件下,理論上*分辨率光柵尺*定可以得到*的測(cè)量*度。 

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