XYZ 軸交叉滾柱培林奈米級精密微調(diào)移動平臺 - 20nm 分厘卡頭

06FAS-3LNM

06FAS-3RNM

06FAS-3LNM+3RNM示意圖

* 各軸移動平臺運動方式都采用線性交叉滾柱培林。

* 線性交叉滾柱培林設(shè)計提供更大荷重量和更高度和直線性的功能。

* 和交叉滾柱培林接觸的軌道由拋光的軸承鋼材研磨制成, 以確保長期使用的平滑度及性。

* 各軸內(nèi)有一組預(yù)壓彈簧可阻抗分厘卡頭頂端以消除間隙產(chǎn)生。

* 分厘卡頭推進(jìn)平臺到所需位置后，旋緊各軸側(cè)面小螺絲旋鈕 (Y 軸無) 予以固定之。

* 各軸皆具有粗調(diào)和微調(diào)功能。

* 粗調(diào): 移動距離：8mm，移動解析度1μm。

* 微調(diào): 移動距離：300μm，移動解析度：20nm ( 非線性)。

* 角度偏差：各軸在分厘卡頭所推進(jìn)平臺移動時上下擺動量(pitch) <25 弧秒(arcsec)；在分厘卡頭所推進(jìn)平臺移動時左右擺動量(yaw) <15 弧秒(arcsec)。

* 工作臺面上有 M6 (1/4-20) 和 M4 (8-32) 兩種螺紋牙，底板上有單向長槽孔方便固定于光學(xué)桌，面包板和其他元件上。

* 適合長期平滑及穩(wěn)定的需求。

* 可忽略不計間隙 (backlash) 的螺旋測微器 ( 分厘卡頭)。

* 大荷重：15Kgs。

* 在主動/ 被動光纖元件對準(zhǔn)調(diào)校上有著極為優(yōu)異的表現(xiàn)。

* 有左手、右手操作方式兩種選擇。

* 隨產(chǎn)品附雷射干涉儀檢驗報告。