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更新時(shí)間：2023-12-21 11:53:55瀏覽次數(shù)：1030評(píng)價(jià)
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|---|---|---|---|
| 組件類別 | 光學(xué)元件 |
反射鏡，輸出耦合器和鏡頭
圖1：隨機(jī)偏光（a）的反射鏡（AOI = 45°）在193 nm下的測(cè)量的反射率和透射光譜（a）和在兩面都涂有193 nm氟化物AR涂層的CaF2窗口（b）
Ø所有氟化物系統(tǒng)均確保高反射率和高損傷閾值
ØPR涂層的公差為：
ر 2% for R = 10 ... 30 %
ر 3% for R = 30 ... 75 %
ر 2% for R = 75 ... 90 % and
ر 1% for R > 90 %
ØCaF2（肖特公司193nm受激準(zhǔn)分子級(jí)）和熔融石英的高質(zhì)量鏡面基板，窗口片和透鏡
Ø根據(jù)客戶要求開發(fā)和生產(chǎn)特定組件，例如分束器和可變衰減器
Ø單波長增透膜，剩余反射率在AOI = 0°時(shí)R <0.25％，在AOI = 45°時(shí)R <0.6％（非偏振光）
Ø寬帶和多波長增透膜
可變衰減器
圖2：在不同的AOI（a）和透射率與AOI（b）下測(cè)得的可變衰減器的透射率光譜; 透射率從AOI = 0°時(shí)的T> 88％到AOI = 45°時(shí)的T <2％
Ø可根據(jù)要求提供不同傳輸范圍的衰減器
Ø衰減器可以與CaF2熔融石英的AR涂層補(bǔ)償板一起提供
鋁反射鏡
圖3：優(yōu)化了針對(duì)193nm的受保護(hù)Al鏡（a）和針對(duì)193nm的增強(qiáng)Al鏡（AOI = 45°（b））的測(cè)量反射光譜
增強(qiáng)鋁鏡：Rp
> 93%
Rs
> 99%
Rr
> 96%
有關(guān)鋁鏡的更多信息，請(qǐng)參見目錄中的96-97頁。
標(biāo)準(zhǔn)ArF激光元件的技術(shù)參數(shù)
Coating | Substrate | Damage threshold* | Lifetime test |
Fluoride coatings | |||
AR (0°, 193nm) R < 0.25% | CaF2 | 4 – 5 J/cm2 | 2.5 x 108 |
AR (0°, 193nm) R < 0.25% | fused silica | 2 – 3 J/cm2 | |
PR (0°, 193nm) R = 25% | CaF2 | 3 – 4 J/cm2 | 2.5 x 108 |
PR (0°, 193nm) R = 50% | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 | 109 |
HR (0°, 193nm) R > 96% | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 | 109 |
HR (45°, 193nm) R > 95% (random polarized) | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 | |
Oxide coatings | |||
HR (0°, 193nm) R>92% | fused silica | <1 J/cm2 |
1）1000 - on -1,14 ns; 在Laser LaborGöttingen和Friedrich-Schiller - Jena大學(xué)進(jìn)行了測(cè)量
2）能量密度：18mJ / cm 2，重復(fù)頻率：4kHz，脈沖持續(xù)時(shí)間：30ns; 在哥德根的COHERENT AG進(jìn)行測(cè)試
3）能量密度：55mJ / cm 2，重復(fù)率：1kHZ，脈沖持續(xù)時(shí)間15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測(cè)試
4）能量密度：27mJ / cm 2，重復(fù)頻率：4kHz，脈沖持續(xù)時(shí)間：30ns; 在哥德根的COHERENT AG進(jìn)行測(cè)試
5）能量密度：80mJ / cm 2，重復(fù)頻率：1kHz，脈沖持續(xù)時(shí)間：12ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測(cè)試
反射鏡，輸出耦合器和鏡頭
圖1：157nm的激光鏡（AOI = 0°，a）和轉(zhuǎn)向鏡（AOI = 45°，b）的測(cè)量反射率和透射光譜
Ø激光鏡：AO = 0°時(shí)R = 92 ... 95％
Ø轉(zhuǎn)向鏡（AOI = 45°）：
ØRs
> 97%
ØRp
> 90%
ØRr
> 92%
ØCaF2的高品質(zhì)鏡面基板，窗口片和鏡片（肖特公司157nm受激準(zhǔn)分子級(jí)品質(zhì)）
Ø具有公差的PR涂層
ر 2 % for R = 10 ... 30 %
ر 3 % for R = 30 ... 75 % and
ر 2 % for R = 75 ... 90 %
Ø根據(jù)客戶要求開發(fā)和生產(chǎn)特定組件，例如分束器和可變衰減器
圖2：標(biāo)準(zhǔn)輸出耦合器在R = 50±3％和R = 25±2％時(shí)測(cè)得的反射光譜（背面未鍍膜）
可變衰減器
圖3：可變衰減器在不同AOI（a）和透射率與AOI（b）下測(cè)得的透射光譜透射率從AOI = 0°時(shí)的T> 75％到AOI = 45°時(shí)的T <5％
F2激光鋁鏡
圖4：受保護(hù)的Al鏡（a）和增強(qiáng)型Al鏡在157nm下的反射光譜（b）
受保護(hù)的鋁鏡（針對(duì)157nm進(jìn)行了優(yōu)化）：R = 74 ... 78％
電介質(zhì)增強(qiáng)型鋁鏡：AOI = 0°時(shí)R = 94％
有關(guān)鋁鏡的更多信息，請(qǐng)參閱我們的目錄中的第96 - 97頁。
標(biāo)準(zhǔn)F2激光組件的技術(shù)數(shù)據(jù)
Coating | Spectral performance | Lifetime test |
HR (0°, 157nm) | R = 92 ... 95 % | 2 x 108 |
HR (45°, 157nm) | R = 90 ... 94 % (random pol.) | |
PR (0°, 157nm) | R = 50 ± 3 % | 2 x 108 |
PR (0°, 157nm) | R = 25 ± 3 % | 2 x 108 |
Attenuator | T = 67 ± 3 % | 5 x 107 |
Attenuator | T = 33 ± 3 % | 1 x 108 |
Beam splitter | T = 20 ± 3 % | 1 x 108 |
AR (0°, 157nm) | 0.3 ... 0.7 % |
*能量密度：25mJ / cm2，重復(fù)頻率：800Hz，脈沖持續(xù)時(shí)間：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測(cè)試
**能量密度：15mJ / cm 2，速率：200Hz，脈沖持續(xù)時(shí)間：20ns; 在光電技術(shù)研究所（IPHT）耶拿研究所進(jìn)行測(cè)試
***能量密度：20 mJ / cm2，速率：50Hz，脈沖持續(xù)時(shí)間：20ns; 在光電技術(shù)研究所（IPHT）耶拿研究所進(jìn)行測(cè)試
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