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臺式掃描電鏡的工作原理是怎樣的？
閱讀：1495 發(fā)布時間：2022-3-3
臺式掃描電鏡利用極細(xì)電子束在被觀測樣品表面上進(jìn)行掃描，通過分別收集電子束與樣品相互作用產(chǎn)生的一系列電子信息，經(jīng)轉(zhuǎn)換、放大而成像的電子光學(xué)儀器，是研究三維表層構(gòu)造的有利工具。
在高真空的鏡筒中，由電子槍產(chǎn)生的電子束經(jīng)電子會聚透鏡聚焦成細(xì)束后，在樣品表面逐點(diǎn)進(jìn)行掃描轟擊，產(chǎn)生一系列電子信息（二次電子、背反射電子、透射電子、吸收電子等），由探測器將各種電子信號接收后經(jīng)電子放大器放大后輸入由顯像管柵極控制的顯像管。
聚焦電子束對樣品表面掃描時，由于樣品不同部位表面的物理、化學(xué)性質(zhì)、表面電位、所含元素成分及凹凸形貌不同，致使電子束激發(fā)出的電子信息各不相同，導(dǎo)致顯像管的電子束強(qiáng)度也隨著不斷變化，從而在顯像管熒光屏上可以獲得一幅與樣品表面結(jié)構(gòu)相對應(yīng)的圖像。
根據(jù)探測器接收的電子信號的不同，可分別獲得樣品的背散射電子圖像、二次電子圖像、吸收電子圖像等。掃描電鏡分辨率可達(dá)50~100Å，電子放大倍數(shù)可由十幾倍連續(xù)變化到幾十萬倍。因此可以對樣品的整個表面進(jìn)行比較仔細(xì)的觀察。
調(diào)查表明接近90%的掃描電鏡圖片是在2萬倍以下拍攝的，因此，臺式掃描電鏡可以滿足絕大多數(shù)傳統(tǒng)SEM用戶的需求，其應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，包括：粉末、金相、制藥、造紙、半導(dǎo)體、微電子、生命科學(xué)……