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產(chǎn)品簡介
Solarius研發(fā)的厚度測量系統(tǒng)使用兩個上下精確對位的非接觸式傳感器。這種測量方式快速準(zhǔn)確，允許從上下兩側(cè)同時測量樣品的一層或多層的厚度。
詳細介紹
為了讓厚度量測數(shù)據(jù)清晰而又精確，一種使用良好技術(shù)的雙傳感器測厚系統(tǒng)應(yīng)運而生。
Solarius研發(fā)的厚度測量系統(tǒng)使用兩個上下精確對位的非接觸式傳感器。這種測量方式快速準(zhǔn)確，允許從上下兩側(cè)同時測量樣品的一層或多層的厚度。系統(tǒng)工作時，樣品上下兩側(cè)同步量測，這樣來自上下兩種傳感器的測量值差異將生成終的厚度數(shù)據(jù)。
快速且精確的厚度檢測
模塊化設(shè)計
高效率大面積檢測
靈活且易于自動化
可定制的人機交互式界面
定制化分析
非接觸式無損測量
AOP厚度測量系統(tǒng)配備一套納米級精度的XY運動平臺，該平臺測量范圍高達400mmx400mm。兩個對稱安裝的高速點或線傳感器，其高度測量范圍從2mm到145mm，分辨率從0.2um到5um。Solarius SolarScan軟件提供自動測量功能以及定制化程序模板；模塊化的系統(tǒng)設(shè)計為定制化分析軟件提供了較大程度的靈活性。