馬爾文帕納科

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[供應(yīng)]馬爾文帕納科2830 ZT 晶圓分析儀

貨物所在地:國外

更新時間:2024-09-18 21:00:06

有效期:2024年9月18日 -- 2025年3月18日

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2830 ZT 波長色散 X 射線熒光 (WDXRF) 圓晶分析儀提供了用于測量薄膜厚度和成分的功能。 2830 ZT 圓晶分析儀專門針對半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲行業(yè)而設(shè)計,該儀器可為多種晶片(厚達 300 mm)測定層結(jié)構(gòu)、厚度、摻雜度和表面均勻性。

特點

持續(xù)的性能和速度

傳統(tǒng) X 射線管會出現(xiàn)鎢燈絲揮發(fā),從而導(dǎo)致光管鈹窗內(nèi)部出現(xiàn)沉淀物污染鈹窗。 使用此類 X 射線管的儀器需要定期進行漂移校正以補償下降的強度,尤其是對于輕元素而言。 

2830 ZT 配置SuperQ 軟件,該軟件包含了 FP Multi - 一個專門針對多層分析開發(fā)的專用軟件包。 該軟件的用戶界面確保即使是沒有經(jīng)驗的操作員也可以對多層進行全自動的基本參數(shù)分析。
該儀器的 SuperQ 軟件具有多種易于使用的模塊,這些模塊能夠方便研究者和工程師進行靈活的操作。 可以輕松切換配方和調(diào)整設(shè)備參數(shù)以適應(yīng)用戶偏好。

可輕松集成到任意實驗室或晶片廠中:從簡單的人工托架裝載到全自動。 *靈活的設(shè)計讓晶片廠經(jīng)理能夠選擇 FOUP、SMIF 或開放式裝入端口,配有一個或兩個裝入端口配置。 各種配置的 FALMO-2G 均受到符合 GEM300 的軟件支持。 FALMO-2G 的占地空間大大降低,而沒有損失靈活性、功能。 

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