形貌儀的分類與特點有哪些?
其實,二者不難區(qū)分,簡單可以理解為雙模式三維表面形貌儀是在白光干涉形貌儀的基礎(chǔ)上的一種升級。
首先,從掃描模式上,白光干涉形貌儀間距PSI與VSI的模式,而雙模式三維表面形貌儀除了能做到這點之外,利用旋轉(zhuǎn)盤共焦技術(shù),可以實現(xiàn)快速垂直掃描。
其次,雙模式三維表面形貌儀有著出色的穩(wěn)定性,無論是機器本身,或是測試出的參數(shù)、偏差值等等方面,雙模式三維表面都比白光干涉要穩(wěn)定。
雙模式三維表面形貌儀除了兼?zhèn)浒坠飧缮娴乃行阅芤酝猓€有一個明顯優(yōu)勢,那就是它具有光學形貌上高的橫向分辨率,空間下樣調(diào)整之后,甚至可以達到0.05um,在形貌測量以及測試物體表面特征的佳配置。
以上就是二者的區(qū)別所在啦,看過之后不知道對您有沒有幫助。其實,二者不能說誰優(yōu)誰劣,在購買時,只要挑選出適合自己的形貌儀就好。