在半導(dǎo)體企業(yè)的廠務(wù)和制程端，pH測量作為關(guān)鍵工藝參數(shù)之一，其準(zhǔn)確性和可靠性對于生產(chǎn)高質(zhì)量的半導(dǎo)體產(chǎn)品至關(guān)重要；然而，這一環(huán)節(jié)也面臨著諸多挑戰(zhàn)。

在廠務(wù)端，廢水和純水的處理是關(guān)鍵環(huán)節(jié)。廢水中可能含有各種化學(xué)物質(zhì)，其pH值的準(zhǔn)確測量對確保廢水處理工藝的有效性和環(huán)境合規(guī)性至關(guān)重要。同時，純水的pH值也需要精確控制，以確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。然而，由于廢水和純水中可能存在溫度波動及顆粒物等干擾，pH測量往往面臨準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性的挑戰(zhàn)。

在制程端，半導(dǎo)體制造涉及多個復(fù)雜工藝步驟，如清洗、蝕刻、沉積等。這些工藝步驟中使用的化學(xué)品和反應(yīng)條件對pH值有著嚴(yán)格的要求。然而，制程中的化學(xué)反應(yīng)、氣體釋放、溫度變化等因素都可能導(dǎo)致pH值波動，從而對產(chǎn)品質(zhì)量和良率產(chǎn)生直接影響。因此，制程端的pH測量需要具備高度的精確性、穩(wěn)定性和響應(yīng)速度，以應(yīng)對不斷變化的工藝條件。

為了應(yīng)對這些挑戰(zhàn)，選擇適合的pH傳感器并進(jìn)行正確的使用和維護(hù)至關(guān)重要。

近期，梅特勒托利多針對半導(dǎo)體行業(yè)開展了pH傳感器主題的直播，深入探討如何根據(jù)工況選擇合適的電極、如何借助先進(jìn)的管理軟件以及自清洗技術(shù)為pH傳感器的測量提供保障。

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直播講師

張軍義

梅特勒托利多

過程分析

資深產(chǎn)品經(jīng)理