X熒光光譜儀主要由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成，適用于工廠來料及制程控制中的有害物質(zhì)檢測，鉛(Pb)、汞(Hg)、鎘(Cr)、鉻(Cd)、溴(Br)、氯(Cl)控制的利器。無損檢測，可對電子電氣設(shè)備，玩具指令中的有害物質(zhì)進行定性定量分析。
X熒光光譜儀的優(yōu)缺點介紹：
優(yōu)點
a) 分析速度快。測定用時與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，10～300秒就可以測完樣品中的全部待測元素。
b) X射線熒光光譜跟樣品的化學結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定 。
c) 非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復多次測量，結(jié)果重現(xiàn)性好。
d) X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質(zhì)上屬同一族的元素也能進行分析。
e) 分析精密度高。目前含量測定已經(jīng)達到ppm級別。
f) 制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
缺點
a） 定量分析需要標樣。
b）對輕元素的靈敏度要低一些。
c）容易受元素相互干擾和疊加峰影響。
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