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zeta 三維光學(xué)輪廓儀：*的三維成像和測(cè)量，多功能光學(xué)測(cè)試模組，多樣化的測(cè)試平臺(tái)（手動(dòng)、自動(dòng)測(cè)試臺(tái)）
Z*的3D成像及測(cè)試系統(tǒng) （為用戶量身打造的表面輪廓測(cè)量設(shè)備，是表面量測(cè)領(lǐng)域的Z佳選擇）

型號(hào)：Zeta-20

產(chǎn)品：光學(xué)輪廓儀/表面輪廓測(cè)試系統(tǒng)

品牌：Zeta澤塔

簡(jiǎn)介：zui*的3D成像及測(cè)試系統(tǒng) （為用戶量身打造的表面輪廓測(cè)量設(shè)備，是表面量測(cè)領(lǐng)域的*選擇）

特點(diǎn)

◆ 功能齊全，操作簡(jiǎn)易，用途廣泛的Zeta-20

ZDotTM技術(shù)擅于對(duì)高粗糙度、低反射率的表面進(jìn)行成像分析

  ·具有防反射涂層的太陽(yáng)能電池片
  ·圖形化/蝕刻的LED基板
  ·生物微機(jī)電、微機(jī)電系統(tǒng)和微流體槽
  ·透明的多表面樣品成像

快速獲取數(shù)據(jù)

·可配置快于10秒掃一幅三維圖像的采集速度
·簡(jiǎn)明易學(xué)的軟件操作界面

強(qiáng)大的三維分析功能

·臺(tái)階高度、粗糙度、面積、體積、角度及其它表面屬性
·數(shù)據(jù)輸出格式與常見的第三方分析軟件可兼容

◆ 高度的靈活性

測(cè)量復(fù)雜的表面特征

從深槽到金剛石鋼線，Zeta-20強(qiáng)大的成像能力可對(duì)各種復(fù)雜表面進(jìn)行測(cè)量。通常這些表面由于太粗糙、太暗或是坡度太陡而無法用其它設(shè)備測(cè)量。

選項(xiàng)配置齊全

  在科研過程中所涉及的樣品表面類型往往難以預(yù)測(cè)。因此，Zeta-20使用模塊化設(shè)計(jì)理念，為用戶提供了一系列的硬件和軟件選項(xiàng)來滿足各種不同的測(cè)量需求。
  ·薄膜厚度光譜儀
  ·可測(cè)量納米級(jí)粗糙度的QDIC/Nomarski選項(xiàng)
  ·iX5干涉物鏡
  ·Z軸分辨率高達(dá)2nm的壓電陶瓷載臺(tái)
  ·傾斜載臺(tái)和真空吸附卡具
  ·自動(dòng)特征提取和測(cè)量軟件
  ·自動(dòng)表面面積測(cè)量、統(tǒng)計(jì)分析 ...以及其它眾多選項(xiàng)！

◆ 特定行業(yè)的測(cè)量應(yīng)用

太陽(yáng)能電池片表面分析：

  ·自動(dòng)測(cè)量柵線的高度、寬度和體積
  ·單晶硅和多晶硅表面面積和絨面分析
  ·氮化硅防反射層薄膜厚度測(cè)量
  ·多點(diǎn)、自動(dòng)?xùn)啪€測(cè)量
  ·156mm太陽(yáng)能電池片真空吸附載臺(tái)

LED 和圖形化藍(lán)寶石基板(PSS)分析

  ·自動(dòng)測(cè)量PSS高度、尺寸和周期
  ·分析光阻和蝕刻后PSS特征
  ·自動(dòng)定位和測(cè)量外延后Mesa的粗糙度
  ·適用于2"、4"和6"晶圓的真空載臺(tái)

微流體和微機(jī)電的測(cè)量分析

  ·透明的多層表面輪廓測(cè)量
  ·深槽、深井以及其它高縱深比的特征點(diǎn)測(cè)量
  ·靈活的、可自定義的橫截面及測(cè)量點(diǎn)的設(shè)置

簡(jiǎn)便、易用的測(cè)量方法

  ·自動(dòng)載物臺(tái)支持多點(diǎn)測(cè)量序列和三維圖像拼接
  ·自動(dòng)坡度和波度補(bǔ)償
  ·自動(dòng)將待測(cè)表面調(diào)成水平
  ·自動(dòng)測(cè)量高度、尺寸、角度、面積和體積
  ·自動(dòng)測(cè)量線粗糙度和面粗糙度

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