目錄:北京杜克泰克科技有限公司>>光聲光譜氣體分析儀>>監(jiān)測(cè)系統(tǒng)>> 阿瑞斯-µVOC空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
| 參考價(jià) | ￥ 400000 |
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更新時(shí)間：2024-06-28 10:35:00瀏覽次數(shù)：2605評(píng)價(jià)
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,農(nóng)業(yè),石油,能源 |
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概述：
空氣分子污染物(AMC)對(duì)于高科技生產(chǎn)過程是關(guān)鍵性因素，特別是微電子行業(yè)，有機(jī)污染物是生產(chǎn)過程中的消極因素，會(huì)導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問題而產(chǎn)生的成本增加。
無空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標(biāo)，通過污染物源頭控制、傳播控制，實(shí)時(shí)監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級(jí)過濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)，持久監(jiān)測(cè)AMC濃度，有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預(yù)防過濾器突發(fā)性壽命減少等。
阿瑞斯-μVOC提供給客戶一個(gè)實(shí)時(shí)快捷持續(xù)的在線空氣分子污染物AMC監(jiān)測(cè)方案，不需要采樣，離線測(cè)量。
檢測(cè)限達(dá)到sub-ppb級(jí)
潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內(nèi)部來自建筑材料釋出、設(shè)備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學(xué)藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設(shè)備維護(hù)修理時(shí)散發(fā)等，外部來自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物,以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。
一旦AMC空氣分子污染物超標(biāo)會(huì)引起一系列嚴(yán)重后果，比如晶圓廢棄、停產(chǎn)、重新凈化潔凈室等。
可測(cè)組份
| 2-氨基乙醇 CH3NH2CH2OH | (t-乙酸丁脂)二羥基甲苯 H3CC6H3(t-C4H9)2OH |
| 2-氨基丙醇 CH3NH2C2H4OH | 六甲基二硅胺烷(CH3 ) 3SiNHSi(CH3)3 |
| 異丙醇(CH3 ) 2CHOH | 二乙氨基乙醇(C2H5)2NC2H5OH |
| 乙醇胺 H2NCH2CH2OH | 鄰苯二甲酸二辛酯C6H4(C=OOC8H15)2 |
| 環(huán)己胺C6H11NH2 | 鄰苯二甲酸二乙酯C6H4(C=OOC2H5)2 |
| 環(huán)聚二甲基硅氧烷(-Si(CH3)2O-)n | 鄰苯二甲酸二丁酯 C6H4(C = OOC4H9)2 |
| 對(duì)二氯苯CIC6H4CL | 三乙胺(C2H5 ) 3N |
| 鄰苯二甲酸二壬酯C6H4(C=OOC9H19)2 | 鄰苯二甲酸二環(huán)己酯C6H4(C=OOC6H11)2 |
| 鄰苯二甲酸二癸酯 C6H4(C=OOC10H21)2 | 磷酸三乙酯(C2H5O ) 3P=0 |
| 十甲基環(huán)五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)5 | 十二甲基環(huán)五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)6 |
| 二甲苯(CH3)2C6H4 | 三甲酚磷酸酯(CH3C6H4O ) 3P=0 |
| 三甲基硅醇C3H10OSi | ...... |
亮點(diǎn)
一般特點(diǎn)：
在線連續(xù)質(zhì)量監(jiān)測(cè)全部自動(dòng)化系統(tǒng)
低濃度VOC監(jiān)測(cè)
獨(dú)立分開測(cè)量有機(jī)物成份
Sub-ppb檢測(cè)限
集成計(jì)算機(jī)和控制軟件以及數(shù)據(jù)采集與處理功能
應(yīng)用
潔凈間污染物監(jiān)測(cè)
過濾器狀態(tài)監(jiān)測(cè)
加工過程全組份測(cè)量診斷污染物
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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