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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,農(nóng)業(yè),石油,能源 |
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獵戶座 3100S
AMC空氣分子污染物監(jiān)測系統(tǒng)
一、AMC空氣分子污染物監(jiān)測系統(tǒng) 3100S產(chǎn)品介紹:
1、實(shí)踐證明深紫外光刻工藝深受多種類微量污染物的影響,對很多微量污染物極為敏感,比如氨氣或者酸性氣體都會給半導(dǎo)體生產(chǎn)帶來較大的危害,盡管隨著深紫外耐腐蝕材料技術(shù)的發(fā)展,已經(jīng)減少了長時間持續(xù)實(shí)時監(jiān)測,而實(shí)際上空氣分子污染(AMC)的實(shí)時測量對產(chǎn)品質(zhì)量的好壞至關(guān)重要。
2、獵戶座3100S系列空氣分子污染物監(jiān)測系統(tǒng)基于CEAS(腔增強(qiáng)吸收光譜)技術(shù)連續(xù)分析儀器,將增加半導(dǎo)體器件阻抗一致性、保證更長的過濾器壽命、減少生產(chǎn)過程的停工時間。
3、ETG HMI(人機(jī)交互界面)軟件可以實(shí)時觀察、實(shí)時測量、實(shí)時操作對不同空間不同位置的NH3、HCL、HF進(jìn)行分析,軟件專門針對半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā),對于深紫外光刻工藝過程中監(jiān)測與控制空氣分子污染(AMC)提供有力的支持,軟件集成了多點(diǎn)采樣(MS)控制功能,具有實(shí)時顯示數(shù)據(jù)曲線、報(bào)警、存儲、趨勢、歷史曲線、分析等功能。
二、AMC在線監(jiān)測 獵戶座 3100S 系統(tǒng)介紹:
1、實(shí)時監(jiān)測空氣分子污染(AMC)對于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程極為重要。
2、快速監(jiān)測、報(bào)警、極低濃度測量、寬測量區(qū)域、多氣體的高靈敏響應(yīng)等是半導(dǎo)體工業(yè)要求之一。
3、深紫外光刻工藝特別關(guān)注氨、胺類、N-甲基吡咯烷酮NMP、酸類等濃度測量,當(dāng)這些氣體與化學(xué)放大光刻膠反生反應(yīng)時,將深深的影響半導(dǎo)體器件質(zhì)量。
4、傳統(tǒng)古老的方法多采用間接測量分析方法。包括撞擊濾塵器、離子色譜、化學(xué)熒光法,這些方法分析速度太慢,操作過程太復(fù)雜,昂貴并且測量結(jié)果不準(zhǔn)確。
5、ETG采用被證明的CEAS(腔增強(qiáng)吸收光譜)技術(shù)解決AMC(空氣分子污染物)監(jiān)測難題,可快速測量痕量級NH3、HCL、HF,采用脈沖熒光法測量SO2,采用增強(qiáng)型GC-FID測量VOCs。
6、獵戶座 3100S系列空氣分子污染物監(jiān)測系統(tǒng)測量痕量級NH3、HCL、HF并集成了uVOC-CAM特性,是半導(dǎo)體行業(yè)潔凈室AMC(空氣分子污染)測量的有力工具。
7、獵戶座 3100S也集成了多點(diǎn)監(jiān)測系統(tǒng),可依序?qū)怏w抽送到分析儀或傳感器,并讀出測量結(jié)果。獵戶座 3100S內(nèi)嵌的報(bào)警、報(bào)告、分析軟件是由多年半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)驗(yàn)的工程師集體開發(fā)。
8、獵戶座 3100S使用Ethernet、RS485/RS232或4-20mA模擬模塊可以輸出來自4~6臺分析儀或傳感器的數(shù)據(jù)。
9、每臺分析儀配有內(nèi)置計(jì)算機(jī)(Linux OS),可進(jìn)行數(shù)據(jù)存儲和數(shù)據(jù)輸出,還支持遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)控制,通過互聯(lián)網(wǎng)可以連接ETG公司總部或者當(dāng)?shù)亟?jīng)銷商服務(wù)商,進(jìn)行操作或者診斷。
10、使用者可以通過網(wǎng)絡(luò)瀏覽器比如IE、Chrome等世界任意可以聯(lián)網(wǎng)的地方進(jìn)行操作,遠(yuǎn)程操作可實(shí)現(xiàn)多級管理權(quán)限控制和操作。
獵戶座 3100S 系統(tǒng)配置圖如下
三、產(chǎn)品特點(diǎn):
1、增強(qiáng)靈敏度
儀器基于CEAS(腔增強(qiáng)吸收光譜)技術(shù),極簡使用、便捷操作,所有部件(包括內(nèi)置真空泵、鍵盤、鼠標(biāo)、顯示器等)幾分鐘內(nèi)可開始記錄數(shù)據(jù),其他大氣中的水汽、CO2、O2、甲烷等不會對HCL、HF、NH3等測量構(gòu)成交叉干擾。內(nèi)置計(jì)算機(jī)可以存儲大量數(shù)據(jù)到內(nèi)置硬盤上,可同過數(shù)字接口或者模擬接口傳輸數(shù)據(jù),可通過互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程存儲或記錄數(shù)據(jù),高質(zhì)量的數(shù)據(jù)庫,適合于苛刻的半導(dǎo)體痕量級氣體應(yīng)用。
2、檢測限/精度 (1-σ) :HCl 0.1 ppb ; HF 0.1 pp ; NH3 < 0.1 ppb
快速響應(yīng)時間
每個通道5秒
系統(tǒng)即插即用
系統(tǒng)可在潔凈間幾分鐘內(nèi)簡單操作完成
低成本,因CEAS(腔增強(qiáng)吸收光譜)系統(tǒng)不需要特別的維護(hù)保養(yǎng)和備品備件,所以很好的降低了使用者成本。
四、CEAS(腔增強(qiáng)吸收光譜)---原理
基于CEAS(腔增強(qiáng)吸收光譜)技術(shù)的儀器原理圖,使用近紅外波段光進(jìn)行高靈敏度吸收測量,測量腔室由一組高反射率多次反射鏡片組成的柱狀體構(gòu)成,激光束經(jīng)過固態(tài)校準(zhǔn)器(FSR=2.00GHz)時會測量得到相對激光波長。為了保證清晰度,忽略了原本照射到左側(cè)測量單元腔鏡外的光束。
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