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美國BIRD油射線RF終止負載原廠代購

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【詳細說明】

  8921SC13美國BIRD油射線RF終止負載5 kW,DC至28 MHz精度RF負載8921SC13,13.56 MHz超穩(wěn)定的油二電流RF終止,以實現(xiàn)最大的過程可重復性和一致性,現(xiàn)代等離子體應用需要精確的RF功率調(diào)節(jié)和控制。確保準確且可重復的RF電源到腔室的關鍵組件是RF發(fā)電機的校準,調(diào)節(jié)和監(jiān)視。現(xiàn)在,Bird提供超穩(wěn)的低VSWR負載,可快速,精確地測量發(fā)電機功率輸出時,與精確的功率傳感器(例如Bird 4020系列)一起使用。 8921SC13不僅提供較低的VSWR,而且在臨界頻率下VSWR的VSWR總變化少于0.1 dB。由于校準不同的時間長度,不需要負載熱身或重復性風險。這可以大程度地減少與此校準相關的錯誤,并控制更關鍵的過程變量之一。美國BIRD油射線RF終止負載原廠代購。

  8921SC13美國BIRD油射線RF終止負載技術參數(shù):

電力等級5 kW頻率范圍和VSWRDC至28 MHz @ 1.1最大。

VSWR小于1.05:1阻抗ω50(名義)VSWR穩(wěn)定性<0.1 dB,穩(wěn)定頻率下的額定功率從0到100%穩(wěn)定頻率13.56 MHz±10 kHz連接器“ QC"類型LC(女性) - 通常提供互鎖熱開關 - 可選通常關閉。在236°C(457°F)處打開熱開關等級115 VAC,10 A

230 VAC,5 A溫度范圍操作: +5至+40°C(+41至+104°F)

存儲: - 40至+45°C( - 40至40至+113°F)高度1520 m(5000英尺)濕度95%的無調(diào)最大。冷卻方法油介電和對流電流方面32.8“ x 9.5" x 26.9“

832 x 241 x 681 mm重量126磅。

57公斤結(jié)束黑色環(huán)氧樹脂

美國BIRD油射線RF終止負載原廠代購

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