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海德漢式直線光柵尺,測(cè)量步距為0.1 ?m(分辨率達(dá)0.005 ?m)
單場(chǎng)掃描定位精度高和移動(dòng)速度快
海德漢光柵尺,也稱為光柵尺位移傳感器(光柵尺傳感器),是利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置。光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中,可用作直線位移或者角位移的檢測(cè)。其測(cè)量輸出的信號(hào)為數(shù)字脈沖,具有檢測(cè)范圍大,檢測(cè)精度高,響應(yīng)速度快的特點(diǎn)。例如,在數(shù)控機(jī)床中常用于對(duì)刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測(cè),來(lái)觀察和跟蹤走刀誤差,以起到一個(gè)補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動(dòng)誤差的作用。
光柵尺按照制造方法和光學(xué)原理的不同,分為透射光柵和反射光柵。
海德漢光柵尺LC483參數(shù):
LC 483 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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式直線光柵尺,測(cè)量步距為0.1 μm(分辨率達(dá)0.005 μm)
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