SMC推出了一款XGTP系列平行密封型門(mén)閥。產(chǎn)品采用平行密封結(jié)構(gòu)，可對(duì)應(yīng)300mm晶圓。適用于半導(dǎo)體裝置的真空工藝腔與傳輸腔之間的密封。

 產(chǎn)品參數(shù)
???◇ 長(zhǎng)壽命：300萬(wàn)次（常溫時(shí)）
???◇ 低發(fā)塵：發(fā)塵量減少到1/5以下（與舊型相比）
???◇ 省氣：耗氣量減少22%
???◇ 輕量：14kg（盒式）
???◇ 工作窗尺寸：50mm X 336mm
平行密封構(gòu)造：門(mén)上升、下降的直線動(dòng)作和門(mén)開(kāi)閉的夾緊采用平行密封（L motion）構(gòu)造，降低了摩擦系數(shù)，可大幅減少發(fā)塵量并延長(zhǎng)使用壽命。

 

應(yīng)用場(chǎng)合

▼半導(dǎo)體加工過(guò)程中，針對(duì)各工藝腔之間的隔離。