石英管式微波等離子體裝置  

型號(hào)：GH/FM-CVD

北京石英管式微波等離子體裝置該設(shè)備利用頻率為2.45GHz的微波激勵(lì)稀薄氣體放電，從而產(chǎn)生等離子體。真空反應(yīng)室為Φ50mm的石英管腔體。放置樣品的基片臺(tái)可以方便地在反應(yīng)腔體內(nèi)上下升降調(diào)節(jié)。

北京石英管式微波等離子體裝置基片臺(tái)位于石英管反應(yīng)腔體的中心，該基片臺(tái)除了基本的上下升降功能外，同時(shí)具有水冷控溫的功能，雙層水冷支架與基片臺(tái)可方便地拆卸與維護(hù)，即使樣品以不同的形態(tài)（片狀、塊狀、粉末狀等）出現(xiàn)，更換或改裝基片臺(tái)也十分方便。

石英管反應(yīng)腔兩端有雙層水冷套作降溫保護(hù)，端口以不銹鋼部件固定并密封（加橡膠）石英腔體，以確保反應(yīng)腔的安全穩(wěn)定工作。

該設(shè)備的真空系統(tǒng)采用2XZ-2型旋片真空泵，極限真空6×10－1帕，抽速2升/秒，額定轉(zhuǎn)速1400轉(zhuǎn)/分，機(jī)械泵與真空室之間設(shè)置有電磁閥和高真空隔膜閥，旁路管道設(shè)置另一隔斷閥（高真空微調(diào)閥），以便于真空系統(tǒng)運(yùn)行安全及工作時(shí)反應(yīng)氣體壓強(qiáng)的靈活控制。真空密封采用金屬和橡膠密封，通常：相對(duì)不動(dòng)接口采用金屬銅密封，相對(duì)可動(dòng)接口采用橡膠密封。

真空測(cè)量采用數(shù)字壓阻式真空計(jì)，用來測(cè)量反應(yīng)腔內(nèi)的工作氣壓。

主要電氣配置：

1) 真空泵：2XZ-2型旋片真空泵采用單相220V交流電源，對(duì)實(shí)驗(yàn)室電源無特殊要求。

2) 磁控管：采用工業(yè)上通用的磁控管，該磁控管具有使用壽命長(zhǎng)、可靠性高的特點(diǎn)，維護(hù)方便。

3) 真空計(jì)：采用壓阻式真空計(jì)，用于測(cè)量工作時(shí)的工作氣壓。

4) 溫控儀：用于冷卻水循環(huán)系統(tǒng)中的制冷及水溫控制。

5) 500W微波功率源：通過調(diào)節(jié)磁控管陽極電壓的方法調(diào)節(jié)微波功率的輸出，利用簡(jiǎn)單、可靠、易維護(hù)的電路實(shí)現(xiàn)微波功率的連續(xù)可調(diào)輸出。

6) 冷卻水：裝置自帶循環(huán)冷卻水，對(duì)實(shí)驗(yàn)室無水源要求，既節(jié)水又方便。

二、技術(shù)參數(shù)及特性1. 反應(yīng)室工作壓強(qiáng)：幾百帕～十千帕

2. 反應(yīng)室極限壓強(qiáng): 6×10－1帕3. 反應(yīng)室尺寸： Φ50mm

4. 微波功率： 0～500W5. 基片溫控： 200～1000℃

外形尺寸 1.4*1.5*0.6立方米（mm）

測(cè)量范圍 0.500W（Ω）