NANO-MASTER產(chǎn)品介紹

NANO-MASTER產(chǎn)品應(yīng)用于LED、微機(jī)電系統(tǒng)、光電子學(xué)、納米技術(shù)、太陽能電池、半導(dǎo)體和空間模擬等。主要產(chǎn)品有用于SiO2/Si3N4/DLC/CNT/石墨烯等沉積的PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積，濺射系統(tǒng)（RF/DC/反應(yīng)濺/共濺/組合濺），熱蒸鍍和E-Beam蒸鍍，ALD原子層沉積，用于InGaN/AlGaN等氮化物沉積的PA-MOCVD，IBE/RIE/ICP/DRIE刻蝕系統(tǒng)，兆聲波無損濕法清洗/去膠/剝離/刻蝕系統(tǒng)，熱真空系統(tǒng)。