那諾中國有限公司
中級會員 | 第11年

18916157635

當(dāng)前位置:> 供求商機> NM-LTP-Platens低溫樣品臺

NM-LTP-Platens低溫樣品臺
  • NM-LTP-Platens低溫樣品臺
舉報

貨物所在地:國外

地: 美國

更新時間:2024-11-04 21:00:07

瀏覽次數(shù):242

在線詢價收藏商機

( 聯(lián)系我們,請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,謝謝?。?/p>

NANO-MASTER(那諾-馬斯特)Platens低溫樣品臺,又稱為基板或加熱板,是真空鍍膜設(shè)備中常用到關(guān)鍵部件。因此樣品臺可以整合到RIE刻蝕、ICP刻蝕、PECVD、ALD等刻蝕和沉積設(shè)備中,給晶圓等樣片進(jìn)行均勻加熱和冷卻處理,為微納米薄膜工藝提供精確的溫度環(huán)境。

NANO-MASTER Platens低溫樣平臺

NANO-MASTER(那諾-馬斯特)Platens低溫樣品臺,使用技術(shù),加熱均勻性*。NANO-MASTER的樣平臺(或稱為基板、熱板)可以加入射頻偏壓、水冷卻、通過模塊控制300°C范圍的溫度?;宓母叨瓤烧{(diào)節(jié),基片可旋轉(zhuǎn),真空腔體內(nèi)沒有任何引線。任何地方不會出現(xiàn)短路或電弧,因為所有引線、電熱偶和冷卻水管道都保持在大氣壓下。NM低溫樣品臺可以直接安裝到你的系統(tǒng)中,無論是RIE刻蝕、ICP刻蝕、ALE刻蝕,還是PECVD、ALD等沉積設(shè)備中,我們的基板都可以很方便的配套使用。

Platens低溫樣品臺可應(yīng)用的設(shè)備:

  • RIE反應(yīng)離子刻蝕機
  • ICP感應(yīng)耦合等離子刻蝕機
  • ALE原子層刻蝕設(shè)備
  • PECVD等離子增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備
  • ALD原子層沉積設(shè)備
  • 其他設(shè)備

?Platens低溫樣品臺尺寸:

  • 1-12英寸
  • 可定制

Platens不同型號對應(yīng)溫度上限:

  • NM-LTP,低溫?zé)岚?,zui高可加熱到300°C
  • NM-MTP,中溫?zé)岚?,zui高可加熱到500°C
  • NM-HTP,高溫?zé)岚?,zui高可加熱到700°C

?Different models allow for different temperature limits:

  • NM-LTP - Low Temperature Platen heatable up to 300°C
  • NM-MTP - Mid Temperature Platen heatable up to 500°C
  • NM-HTP - High Temperature Platen heatable up to 700°C

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標(biāo)簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復(fù)您~
撥打電話
在線留言