RIE刻蝕機(jī)產(chǎn)品特點：
 

　　鋁質(zhì)腔體或不銹鋼腔體
 

　　不銹鋼立柜
 

　　支持各向同性刻蝕和各向異性刻蝕兩種模式
 

　　能夠刻蝕硅的化合物(~400? /min)以及金屬
 

　　典型的硅刻蝕速率，400 ?/min
 

　　高達(dá)12"的陽極氧化鋁RF樣品臺
 

　　水冷及加熱的RF樣品臺
 

　　大的自偏壓
 

　　淋浴頭氣流分布
 

　　極限真空5x10-7Torr，20分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6Torr級別
 

　　渦輪分子泵
 

　　NRE-3000zui多支持4個MFC，NRE-4000zui多支持8個MFC
 

　　無繞曲氣體管路
 

　　自動下游壓力控制
 

　　雙刻蝕能力：RIE以及PE刻蝕(可選)
 

　　終點監(jiān)測
 

　　氣動升降頂蓋
 

　　手動或自動上下載片
 

　　預(yù)真空鎖
 

　　基于LabView軟件的PC計算機(jī)全自動控制
 

　　菜單驅(qū)動，4級密碼訪問保護(hù)
 

　　*的安全聯(lián)鎖
 

　　可選ICP離子源以及低溫冷卻樣品臺，用于深硅刻蝕
 

RIE刻蝕機(jī)產(chǎn)品型號：
 

　　NRE-4000：基于PC計算機(jī)全自動控制的獨立式系統(tǒng)，占地面積26“D x 44"W
 

　　NRE-3500：基于PC計算機(jī)全自動控制的緊湊型獨立式系統(tǒng)，占地面積26“D x 26"W
 

　　NRE-3000：基于PC計算機(jī)全自動控制的臺式系統(tǒng)，占地面積26“D x 26"W
 

　　NRP-4000：RIE/PECVD雙系統(tǒng)
 

　　NDR-4000：深RIE刻蝕(深硅刻蝕)系統(tǒng)
 

　　是基于PC控制的全自動系統(tǒng).系統(tǒng)真空壓力及DC直流偏壓將以圖形格式實時顯示,流量及功率則以數(shù)字形式實時顯示.系統(tǒng)提供密碼保護(hù)的四級訪問功能:操作員級、工程師級、工藝人員級,以及維護(hù)人員級.允許半自動模式(工程師模式)、寫程序模式(工藝模式), 和全自動執(zhí)行程序模式(操作模式)運(yùn)行系統(tǒng)?；谌詣拥目刂?，該系統(tǒng)具有高度的可重復(fù)性。
 

　　概述：NRE-4000是一款獨立式PE刻蝕RIE刻蝕一體機(jī)，配套有淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13"的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2"的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持zui大到12"的晶圓片。腔體為超凈設(shè)計，并且根據(jù)配套的真空泵可以達(dá)到10-6 Torr 或更小的極限真空。該系統(tǒng)系統(tǒng)可以在20mTorr到8Torr之間的真空下工作。真空泵組包含一個節(jié)流閥,一個250l/s的渦輪分子泵,濾網(wǎng)過濾器,以及一個10cfm的機(jī)械泵(帶Formblin泵油).RF射頻功率通過600W,13.56MHz的電源和自動調(diào)諧器提供。系統(tǒng)將持續(xù)監(jiān)控直流自偏壓,該自偏壓可以高達(dá)-500V.這對于各向異性的刻蝕至關(guān)重要。