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SAT8-1BXSJ18-1E802/4D耐高溫接近開關(guān)
耐高溫接近傳感器是工業(yè)實踐中為常用的一種壓力變送器,應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、自控、航空航天、石化、油井、電力、船舶、機(jī)床、管道送風(fēng)、鍋爐,熔爐等眾多行業(yè)。
耐高溫接近傳感器是為了解決在高溫環(huán)境下對各種、液體的壓力進(jìn)行測量。主要用于測量鍋爐、管道、高溫反應(yīng)容器內(nèi)的壓力、井下壓力和各種發(fā)動機(jī)腔體內(nèi)的壓力、高溫油品液位與檢測、油井測壓等領(lǐng)域。目前,研究比較多的耐高溫接近傳感器主要有等半導(dǎo)體傳感器,還有濺射合金薄膜耐高溫接近傳感器、高溫光纖壓力傳感器和高溫電容式壓力傳感器等。半導(dǎo)體電容式壓力傳感器相比壓阻式壓力傳感器其靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好、功耗小,且只對壓力敏感,對應(yīng)力不敏感,因此,電容式壓力傳感器在許多領(lǐng)域得到應(yīng)用。
耐高溫接近傳感器由硅膜片、襯底、下電極和絕緣層構(gòu)成。其中下電極位于厚支撐的襯底上。電極上蒸鍍一層絕緣層。硅膜片則是利用各向異性腐蝕技術(shù),在一片硅片上從正反面腐蝕形成的。上下電極的間隙由硅片的腐蝕深度決定。硅膜片和襯底利用鍵合技術(shù)鍵合在一起,形成具有一定穩(wěn)定性的硅膜片電容壓力傳感器。
SAT8-1BXSJ18-1E802/4D耐高溫接近開關(guān)