深圳凈化系統(tǒng)工程 光學(xué)微電子廠房無塵室 返回列表頁

深圳凈化系統(tǒng)工程 光學(xué)微電子廠房無塵室

光學(xué)微電子凈化系統(tǒng)工程又叫無塵室或者清潔室，是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)*的重要設(shè)施，近幾年，技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展飛快，對產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化的需求更為迫切，例如超大型積體電路的研究制造，已經(jīng)成為世界各國在科技發(fā)展上非常重視的項目。

無塵潔凈室走廊

光學(xué)微電子凈化工程一般設(shè)計;

1、潔凈生產(chǎn)區(qū)

2、潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等等）。

3、管理區(qū)域（辦公、值班、管理和休息等）。

4、設(shè)備區(qū)域（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電器用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房）

光學(xué)微電子凈化工程的凈化原理

氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒→回風(fēng)百葉窗→初效凈化。重復(fù)這個過程，就可以達到凈化的目的。

光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料

1、凈化廠房墻、頂板材一般用50mm后的彩鋼板制造，特點為美觀大方、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。

2、地面用環(huán)氧自流地坪或高級耐磨塑料地板，對于有防靜電要求的實驗室，選用有防靜電型。。

3、送回風(fēng)管道用熱鍍鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

4、高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

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無塵潔凈室內(nèi)部

 無塵室