法國Phasics的紫外高分辨率波前傳感器是基于Phasics特別的SID4四波橫向剪切干涉技術(shù),高分辨率波前傳感器SID4-UV可覆蓋190-400 nm紫外檢測波段,在紫外線光譜中提供了高分辨率(355x280測量點)和高靈敏度(1 nm RMS)。為波前像差、波前畸變的檢測以及激光光束及波前探測、分析提供了全新方案。
法國Phasics的紫外高分辨率波前傳感器
190-400nm紫外相應(yīng)高靈敏度的紫外高分辨率波前分析儀
基于特別的知識產(chǎn)權(quán)技術(shù),法國Phasics公司的波前傳感器具備高靈敏度及高相位分辨率的特點,即插即用的適用類型適用于大多數(shù)用戶的應(yīng)用環(huán)境。法國Phasics公司為用戶提供兩款紫外檢測波前分析儀,SID4-UV和SID4-UV-HR。
相比之下,SID4-UV適用于250-400 nm波段的紫外光譜,250 × 250的取樣分辨率、2 nm RMS的相位靈敏度以及7.4 × 7.4 mm2的靶面面積足以滿足大部分用戶需求,相比于SID4-UV-HR更具備成本效益,在滿足用戶使用需求的前提下有效的節(jié)約用戶成本。
其中SID4-UV-HR作為SID4-UV的增強款,該設(shè)備在190-400 nm的紫外波段有著高相位分辨率(355×280取樣分辨率)、高相位靈敏度(優(yōu)于1 nm RMS)以及更大的靶面面積(13.8 x 10.88 mm2)。這使得SID4-UV-HR適用于光刻、半導(dǎo)體等領(lǐng)域,尤其適用于透鏡或晶圓等的光學(xué)組件表征以及波前像差,波前曲線的波前探測需求。
高分辨率波前傳感器應(yīng)用領(lǐng)域:
-天文觀測
-航空航天工業(yè)
-半導(dǎo)體加工
-工業(yè)激光
-光學(xué)元件及組裝
-增強現(xiàn)實-虛擬現(xiàn)實
SID4-UV高分辨率波前傳感器產(chǎn)品規(guī)格:
*使用建議電腦搭載SID4軟件環(huán)境下
高分辨率波前傳感器主要特點:
-190-400 nm紫外波段響應(yīng)
-1 nm RMS高相位靈敏度
-355 × 280超高相位取樣分辨率
紫外波前分析儀主要特點:
-250 - 400 nm紫外波段響應(yīng)
-2 nm RMS高相位靈敏度
-250 × 250超高相位取樣分辨率
高分辨率波前傳感器產(chǎn)品應(yīng)用:
-激光檢測
-自適應(yīng)光學(xué)檢測
-等離子體檢測
-光學(xué)元件及光學(xué)系統(tǒng)計量
SID4-UV-HR高分辨率波前傳感器產(chǎn)品規(guī)格:
*使用建議電腦搭載SID4軟件環(huán)境下
高分辨率波前傳感器產(chǎn)品應(yīng)用:
-激光檢測
-自適應(yīng)光學(xué)檢測
-等離子體檢測
-光學(xué)元件及光學(xué)系統(tǒng)計量
-波前曲線檢測
法國Phasics的紫外高分辨率波前傳感器