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行業(yè)產(chǎn)品

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[供應(yīng)]SPE-201P-微波等離子去膠機(jī) ICP RPS
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  • SPE-201P-微波等離子去膠機(jī)  ICP RPS
貨物所在地:
廣東東莞市
產(chǎn)地:
國產(chǎn)
更新時(shí)間:
2024-10-08 13:33:08
有效期:
2024年10月8日 -- 2025年1月7日
已獲點(diǎn)擊:
86
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(聯(lián)系我們,請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,謝謝?。?/p>

產(chǎn)品簡介

達(dá)因特半導(dǎo)體微波等離子去膠機(jī)是一種低壓微波等離子去膠系統(tǒng),應(yīng)用于晶圓光刻膠去膠、晶圓表面活化。自由運(yùn)動(dòng)的電子產(chǎn)生Plasma進(jìn)入腔體所在的料盒進(jìn)行工藝清洗。通過對(duì)真空腔體壁上的窗口施加頻率為2.45GHz的微波可以產(chǎn)生大量的持續(xù)Plasma。腔體適用于不同尺寸的料盒。微波等離子去膠機(jī)可以提供快速的無損傷的等離子去膠效果。系統(tǒng)的等離子去膠效果是由被激活的自由基穿過料盒來實(shí)現(xiàn)的。

詳細(xì)介紹

達(dá)因特半導(dǎo)體微波等離子去膠機(jī)是一種低壓微波等離子去膠系統(tǒng),應(yīng)用于晶圓光刻膠去膠、晶圓表面活化。自由運(yùn)動(dòng)的電子產(chǎn)生Plasma進(jìn)入腔體所在的料盒進(jìn)行工藝清洗。通過對(duì)真空腔體壁上的窗口施加頻率為2.45GHz的微波可以產(chǎn)生大量的持續(xù)Plasma。腔體適用于不同尺寸的料盒。微波等離子去膠機(jī)可以提供快速的無損傷的等離子去膠效果。系統(tǒng)的等離子去膠效果是由被激活的自由基穿過料盒來實(shí)現(xiàn)的。

v 產(chǎn)品放置治具靈活多變,可適應(yīng)不規(guī)則的產(chǎn)品。

v 無電極微波設(shè)計(jì),可滿足軟性產(chǎn)品處理需求。

v 低溫等離子體,避免對(duì)產(chǎn)品產(chǎn)生熱損傷。

v 電中性等離子體,對(duì)產(chǎn)物無電破壞。

v 配置磁流體旋轉(zhuǎn)架,增加Plasma處理均勻度。

v 高效、均勻的微波等離子輸出,保障蝕刻效率。




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