美國OAI INSTRUMENTS光刻機(jī)6000規(guī)格

光刻方式：接近式，軟，硬，真空接觸式

基底尺寸：2-12寸晶圓或者zui大200mm方形

曝光分辨率：

真空接觸:0.5-0.8um

硬接觸:0.8-1.0um

軟接觸:1.0-3.0um

接近式(20um 間隙):3.0um

曝光均勻性：優(yōu)于±3%

對準(zhǔn)精度：頂面0.5um，底面1.0um（選件）

產(chǎn)量：180片/小時zui大

上海連航機(jī)電科技有限公司是專業(yè)銷售進(jìn)口業(yè)務(wù)所涉及的產(chǎn)品品類眾多、應(yīng)用廣泛，同類可互換產(chǎn)品選擇多樣化，專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊和團(tuán)隊可以滿足客戶關(guān)于產(chǎn)品選購、、項目集成等的需求。主要產(chǎn)品品類有：物理參數(shù)檢測測量、自動化與工業(yè)IT、液壓、氣動、分析儀器、實驗室設(shè)備、制動傳動設(shè)備、電器元件、機(jī)床、工具、物流設(shè)備、工業(yè)機(jī)器、成套設(shè)備的供應(yīng)商,如您對進(jìn)口電機(jī)、泵、閥門、電器元件、機(jī)床、工具、儀器儀表等產(chǎn)品感興趣，咨詢！