光譜儀要求高分辨率和信噪比，更好的強(qiáng)度精度和波長精度，以及更強(qiáng)的抗外界干擾能力和良好的儀器穩(wěn)定性。在儀器的軟件中，要求能夠區(qū)分和解決復(fù)雜的數(shù)學(xué)計(jì)算，如卷積計(jì)算光譜之間的相似性，模式識別分析，支持多元校正分析，以及用戶自建的光譜庫和搜索。

　　光譜儀是一種基于XRF光譜分析技術(shù)的光譜分析儀器。當(dāng)能量高于原子內(nèi)部電子結(jié)合能的高能X射線與原子碰撞時(shí)，內(nèi)部電子被驅(qū)逐并出現(xiàn)空穴，使整個(gè)原子系統(tǒng)處于不穩(wěn)定狀態(tài)。當(dāng)光譜儀外層的電子躍遷為空穴時(shí)，就會(huì)產(chǎn)生光電子。被擊落的光子可能會(huì)再次被吸收，從而在外層排出另一個(gè)二次光電子，從而導(dǎo)致俄歇效應(yīng)。它被稱為二次光電效應(yīng)或非輻射效應(yīng)。發(fā)射的二次光電子稱為俄歇電子。

　　當(dāng)光譜儀的外層電子躍入內(nèi)孔時(shí)，釋放的能量并沒有被原子吸收，而是以光子的形式釋放出來，產(chǎn)生X射線熒光，其能量等于兩者之間的能量差。兩個(gè)分子的兩個(gè)能級。因此，射線熒光的能量或波長是特征性的，與元素一一對應(yīng)。根據(jù)莫斯萊定律，只要光譜儀測量熒光X射線的波長，就可以知道元素的類型。這是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ)。此外，熒光X射線的強(qiáng)度與相應(yīng)元素的含量也有一定的關(guān)系。

　　在此基礎(chǔ)上，光譜儀就可以進(jìn)行元素的定量分析。光譜儀將樣品元素的X射線特征光譜的光信號轉(zhuǎn)換成易于測量的電信號，從而獲得被測元素的特征信息。