您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)
產(chǎn)品分類品牌分類
-
混凝土含氣量檢測儀 CT伏安特性測試儀 郝氏計(jì)測玻片 蓄電池容量檢測儀 蓄電池電導(dǎo)測試儀 水平旋轉(zhuǎn)儀 旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器 負(fù)離子細(xì)胞排毒儀 食品安全快速檢測箱 植物水勢狀況測定儀 數(shù)顯扭力檢定儀 泄漏電流測試儀 懸臂梁沖擊試驗(yàn)機(jī) 鍋爐管道清洗機(jī) 恒溫鼓風(fēng)干燥箱 石油產(chǎn)品運(yùn)動(dòng)粘度測定儀 材料力學(xué)多功能實(shí)驗(yàn)臺 彎扭組合實(shí)驗(yàn)臺 數(shù)顯熱偶真空計(jì) 自動(dòng)界面張力儀 表面污染檢測儀 錐針入度測定器 保安巡邏打卡鐘 其他儀器儀表
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
勻膠顯影機(jī)
勻膠顯影機(jī)是一種既可用于精密勻膠操作，又可用于半導(dǎo)體顯影和清洗的臺面式設(shè)備，它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。
不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級別400瓦伺服電機(jī)系統(tǒng)，采用與track設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序，使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義；同類產(chǎn)品中的zui大達(dá)到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度，確保勻膠和顯影的穩(wěn)定性和*的可重復(fù)性。
主要性能指標(biāo)：
主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）
旋涂程序：zui多可存100組程序，每組100步，每個(gè)步驟可精確到0.1秒
轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-5,000rpm（更高速可選）
旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（空載）
馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差<±1rpm
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性<1rpm
工藝時(shí)間設(shè)定：0-3,000sec/step，時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec
支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圓晶）
標(biāo)準(zhǔn)配置兩路噴液系統(tǒng)（顯影液和去離子水）
產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn)：
主機(jī)在之前的勻膠機(jī)上升級，增加耐腐蝕高分子材料防濺式罩蓋
全程序編輯功能，更方便的智能化操作，更好的顯影/清洗效果
可實(shí)現(xiàn)zui多獨(dú)立四路噴液用于顯影/清洗工作，或進(jìn)行氮?dú)獯蹈?
控制器可實(shí)現(xiàn)程序自動(dòng)控制噴液或進(jìn)行手動(dòng)操作，使用更加方便
顯影系統(tǒng)可進(jìn)行噴霧式、柱流式多種選擇，視要求進(jìn)行配置
提供客戶定制化的顯影系統(tǒng)配置和工裝設(shè)計(jì)
高可靠性和重復(fù)性，高轉(zhuǎn)速精度和更高轉(zhuǎn)速可選
可添加去邊膠和背膠清洗功能