特征：

 

1. 卡盤大?。?、6、8"
    
2. 機(jī)動(dòng)半自動(dòng)探針臺(tái)
    
3. 主機(jī)控制
    
4. 顯微鏡分辨率：＜1μm
    
5. 探測(cè)分辨率：＜1μm
    
6. 加熱卡盤溫度范圍：200mm：-65℃~400℃
    
7. 300mm：-55℃~300℃
    
8. 極低電流：fA
    
9. 應(yīng)用：Reliability,Timing,Failure Analysis,High Power,High Frequency,Device Characterization,Design Validation, Process Monitoring, Parametric Testing,MEM's,Optical Devices,ESD