性能:
 

1、真空吸附6"卡盤: 有4"， 6"，8"產(chǎn)品可選

2、卡盤X-Y方向線性移動行程：6"-6"

3、卡盤上/下移動行程：4mm

4、全新設(shè)計，體積小重量輕，可便攜使用

5、同軸滑臺，單手即可操控X-Y兩軸的移動

6、線性無回差調(diào)節(jié)

7、改進的低重心設(shè)計使臺體更加穩(wěn)定

8、吸盤可快速升降也可精細慢調(diào)，故樣品在Z軸方向可快速調(diào)節(jié)也可細步慢調(diào)

9、適用領(lǐng)域：6”晶圓或其他樣品點測，包括大學(xué)與科研單位、晶圓廠、光電器件、IV/CV及RF測試等