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[供應(yīng)]BD-6-BD系列高精度探針臺(tái)

貨物所在地:上海上海

更新時(shí)間:2024-11-06 21:00:33

有效期:2024年11月6日 -- 2025年5月6日

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總體規(guī)格特點(diǎn):
● 重量:50kg(含顯微鏡)
● 尺寸:590mm寬*500mm長(zhǎng)*700mm高(含顯微鏡)
● 優(yōu)化的人體工學(xué)設(shè)計(jì),便于工程師長(zhǎng)時(shí)間舒適的操作

顯微鏡操控規(guī)格:
●   在探針臺(tái)右側(cè)有大搖桿,提起90度后,可以使顯微鏡快速傾仰抬起,方便在測(cè)試時(shí)更換物鏡鏡頭
●   顯微鏡后側(cè)有X/Y軸調(diào)節(jié)小搖輪,可調(diào)節(jié)顯微鏡在x-y方向的移動(dòng),移動(dòng)范圍2"X2",精度1μm
●   顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細(xì)旋鈕,粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細(xì)旋鈕方便調(diào)焦,使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm,移動(dòng)精度1μm
 
臺(tái)面規(guī)格:
●  探針臺(tái)臺(tái)面平整度:5μm
●  探針臺(tái)左側(cè)有搖杠可以控制臺(tái)面快速上下升降6mm。在探針臺(tái)加裝探針卡點(diǎn)測(cè)wafer時(shí)方便對(duì)die的重選擇
●  探針臺(tái)右上方有轉(zhuǎn)輪搖桿,搖動(dòng)時(shí)可使臺(tái)面線性上下升降,升降范圍25mm,精度1μm。在探針臺(tái)加裝探針卡點(diǎn)測(cè)wafer時(shí)方便對(duì)die的復(fù)位
 
卡盤(pán)(載物臺(tái),即圖中的chuck)規(guī)格:
●  6" 卡盤(pán),卡盤(pán)平整度:5μm,采用真空吸附方式吸附,帶真空吸附孔,中心孔徑250μm-1mm(可根據(jù)客戶需求定制孔徑大?。瑉ui小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm,zui大能夠吸住尺寸為6"X6"
●  卡盤(pán)可360度旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào),微調(diào)精度為0.1度,帶角度鎖定旋鈕
●  卡盤(pán)X,Y軸調(diào)節(jié)旋鈕可以控制卡盤(pán)做X-Y方向的移動(dòng),移動(dòng)范圍為6"X6",移動(dòng)精度為1μm,為方便點(diǎn)測(cè)的穩(wěn)定性,帶有鎖住功能。如果點(diǎn)測(cè)6"wafer的時(shí)候,可以保證6"wafer的每一點(diǎn)都能夠點(diǎn)測(cè)到
性能:
● 鍍金真空吸附卡盤(pán): 對(duì)應(yīng)可選4" ,6",8",12"產(chǎn)品
● 大旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)臺(tái),X-Y方向行程:6"-6"
● 卡盤(pán)快速拉出裝置便于放置/拿去樣品
● 線性無(wú)回差調(diào)節(jié)
● 臺(tái)面快速升/降行程:6mm,精調(diào)升/降行程:25mm
● 樣品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"
● 卡盤(pán)平整度: 10um
● 卡盤(pán)旋轉(zhuǎn)角度:0~360°
● Chuck Theta: ±15?
● 大旋鈕滑臺(tái)X-Y方向精度: 1um
● 臺(tái)面上/下升降搖桿/旋鈕
● 顯微鏡傾仰裝置

附件:
● 顯微鏡傾仰裝置
● 射頻測(cè)試探頭/電纜
● 有源探頭
● 低電流/電容測(cè)試
● 高壓測(cè)試
● 激光修復(fù)
● CCD/數(shù)字相機(jī),USB接口
● 探針卡/封裝/PCB板夾具
● 加熱裝置
● 防震桌
● 屏蔽箱
● 顯微鏡暗場(chǎng)/Normarski 檢測(cè)

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