波長(zhǎng)掃描式 自動(dòng)變角度光譜橢偏儀

ESS01適合多入射角光譜橢偏儀尤其適合科研中的新品研發(fā)。

ESS01采用寬光譜光源結(jié)合單色儀的方式實(shí)現(xiàn)高光譜分辨的橢偏測(cè)量。
ESS01是針對(duì)科研和工業(yè)環(huán)境中薄膜測(cè)量推出的波長(zhǎng)掃描式、高精度自動(dòng)變?nèi)肷浣嵌裙庾V橢偏儀，此系列儀器波長(zhǎng)范圍覆蓋紫外、可見(jiàn)、近紅外到遠(yuǎn)紅外。
ESS01系列光譜橢偏儀用于測(cè)量單層和多層納米薄膜的層構(gòu)參數(shù)（如，厚層厚度、表面為粗糙度等）和光學(xué)參數(shù)（如，折射率n、消光系數(shù)k、復(fù)介電常數(shù)ε等），也可用于測(cè)量塊狀材料的光學(xué)參數(shù)。
 

技術(shù)特點(diǎn)：

• 極寬的光譜范圍

  采用寬光譜光源、寬光譜掃描的系統(tǒng)光學(xué)設(shè)計(jì)，保證了儀器在極寬的光譜范圍下都具有高準(zhǔn)確度，非常適合于對(duì)光譜范圍要求極其嚴(yán)格的場(chǎng)合。

• 靈活的測(cè)量設(shè)置

  儀器的多個(gè)關(guān)鍵參數(shù)可根據(jù)要求而設(shè)定（包括：波長(zhǎng)范圍、掃描步距、入射角度等），*地提高了測(cè)量的靈活性，可以勝任要求苛刻的樣品。

• 原子層量級(jí)的檢測(cè)靈敏度

  *的采樣方法、高穩(wěn)定的核心器件、高質(zhì)量的設(shè)計(jì)和制造工藝實(shí)現(xiàn)并保證了能夠測(cè)量原子層量級(jí)地納米薄膜，膜厚精度達(dá)到0.05nm。

• 非常經(jīng)濟(jì)的技術(shù)方案

  采用較經(jīng)濟(jì)的寬光譜光源結(jié)合掃描單色儀的方式實(shí)現(xiàn)高光譜分辨的橢偏測(cè)量，儀器整體成本得到有效降低。

   

應(yīng)用領(lǐng)域：

ESS01系列多入射角光譜橢偏儀尤其適合科研中的新品研發(fā)。
ESS01適合很大范圍的材料種類(lèi)，包括對(duì)介質(zhì)材料、聚合物、半導(dǎo)體、金屬等的實(shí)時(shí)和非實(shí)時(shí)檢測(cè)，光譜范圍覆蓋半導(dǎo)體地臨界點(diǎn)，這對(duì)于測(cè)量和控制合成的半導(dǎo)體合金成分非常有用。并且適合于較大的膜厚范圍（從次納米量級(jí)到10微米左右）。
ESS01可用于測(cè)量光面基底上的單層和多層納米薄膜的厚度、折射率n及消光系數(shù)k。應(yīng)用領(lǐng)域包括：微電子、半導(dǎo)體、集成電路、顯示技術(shù)、太陽(yáng)電池、光學(xué)薄膜、生命科學(xué)、化學(xué)、電化學(xué)、磁介質(zhì)存儲(chǔ)、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等。
薄膜相關(guān)應(yīng)用涉及物理、化學(xué)、信息、環(huán)保等，典型應(yīng)用包括：

• 半導(dǎo)體：如：介電薄膜、金屬薄膜、高分子、光刻膠、硅、PZT膜，激光二極管GaN和AlGaN、透明的電子器件等）；
• 平板顯示：TFT、OLED、等離子顯示板、柔性顯示板等；
• 功能性涂料：增透型、自清潔型、電致變色型、鏡面性光學(xué)涂層，以及高分子、油類(lèi)、Al2O3表面鍍層和處理等；
• 生物和化學(xué)工程：有機(jī)薄膜、LB膜、SAM膜、蛋白子分子層、薄膜吸附、表面改性處理、液體等。
• 節(jié)能環(huán)保領(lǐng)域：LOW-E玻璃等。

• 玻璃新品研發(fā)和質(zhì)量控制等。

技術(shù)指標(biāo)：

注：(1)測(cè)量重復(fù)性：是指對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品上同一點(diǎn)、同一條件下連續(xù)測(cè)量30次所計(jì)算的標(biāo)準(zhǔn)差