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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
聲明：
EX1手動(dòng)橢圓偏振測厚儀是基于消光法（或稱“零橢偏”）橢偏測量原理，針對納米薄膜厚度測量領(lǐng)域推出的一款手動(dòng)教學(xué)儀器。
EX1 儀器適用于納米薄膜的厚度測量、以及納米薄膜的厚度和折射率測量。
EX1儀器還可用于測量塊狀材料（如，金屬、半導(dǎo)體、介質(zhì)）的折射率n和消光系數(shù)k。
特點(diǎn)
- 消光法橢偏測量原理
儀器采用消光法橢偏測量原理，易于操作者理解和掌握橢偏測量基本原理和過程。
- 方便的樣品水平放置方式
采用水平放置樣品，方便樣品取放。
- 精巧的一體化結(jié)構(gòu)
集成一體化設(shè)計(jì)，精巧的儀器外形，方便地顯示儀器測量過程中的光強(qiáng)信息。
- 高準(zhǔn)確性的激光光源
采用激光作為探測光波，測量波長準(zhǔn)確度高。
- 實(shí)用的樣品測量功能
可測量納米薄膜的膜厚和折射率、塊狀材料的復(fù)折射率。
- 方便的儀器手動(dòng)操作
手動(dòng)完成測量，儀器軟件輔助進(jìn)行測量數(shù)據(jù)的分析。
- 可擴(kuò)展的儀器功能
利用本儀器，可通過適當(dāng)擴(kuò)展，完成多項(xiàng)偏振測量實(shí)驗(yàn)，如馬呂斯定律實(shí)驗(yàn)、旋光測量實(shí)、旋光等。
應(yīng)用
EX1適合于教學(xué)領(lǐng)域，適用于單層納米薄膜的薄膜厚度測量，也可用于測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k。
EX1可測量的樣品涉及微電子、半導(dǎo)體、集成電路、顯示技術(shù)、太陽電池、光學(xué)薄膜、生命科學(xué)、化學(xué)、電化學(xué)、磁質(zhì)存儲(chǔ)、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等領(lǐng)域。
技術(shù)指標(biāo)
項(xiàng)目 | 技術(shù)指標(biāo) |
儀器型號(hào) | EX1 |
測量方式 | 手動(dòng) |
樣品放置方式 | 水平放置 |
光源 | He-Ne激光器，波長632.8nm |
探測光束直徑 | Φ2-3mm |
入射角度 | 30°-90°，*.1° |
偏振器方位角讀數(shù)范圍 | 0-360° |
偏振器刻度 | 2°/格 |
偏振器zui小讀數(shù) | 0.05° |
樣品方位調(diào)整 | Z軸高度調(diào)節(jié)：10mm 二維俯仰調(diào)節(jié)：±4° |
允許樣品尺寸 | 樣品直徑可達(dá)Φ80mm |
配套軟件 | * 多個(gè)測量項(xiàng)目選擇 * 測量數(shù)據(jù)分析、計(jì)算、輸入輸出 |
zui大外形尺寸 | 約400*400*250mm |
儀器重量（凈重） | 約20Kg |
選配件 | * 半導(dǎo)體激光器 |
注：(1)測量重復(fù)性：是指對標(biāo)準(zhǔn)樣品上同一點(diǎn)、同一條件下連續(xù)測量30次所計(jì)算的標(biāo)準(zhǔn)差。