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北京賽凡光電儀器有限公司>>光譜測試技術(shù)>> EX1手動橢圓偏振測厚儀

手動橢圓偏振測厚儀

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  • 手動橢圓偏振測厚儀
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具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號 EX1
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 北京市
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更新時間:2015-12-25 13:18:03瀏覽次數(shù):796

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產(chǎn)品簡介

手動橢圓偏振測厚儀是基于消光法(或稱“零橢偏")橢偏測量原理,針對納米薄膜厚度測量領(lǐng)域推出的一款手動教學儀器。

詳細介紹

聲明:

EX1手動橢圓偏振測厚儀是基于消光法(或稱“零橢偏”)橢偏測量原理,針對納米薄膜厚度測量領(lǐng)域推出的一款手動教學儀器。

EX1 儀器適用于納米薄膜的厚度測量、以及納米薄膜的厚度和折射率測量。

EX1儀器還可用于測量塊狀材料(如,金屬、半導(dǎo)體、介質(zhì))的折射率n和消光系數(shù)k。

特點

  • 消光法橢偏測量原理

  儀器采用消光法橢偏測量原理,易于操作者理解和掌握橢偏測量基本原理和過程。

  • 方便的樣品水平放置方式

  采用水平放置樣品,方便樣品取放。

  • 精巧的一體化結(jié)構(gòu)

  集成一體化設(shè)計,精巧的儀器外形,方便地顯示儀器測量過程中的光強信息。

  • 高準確性的激光光源

  采用激光作為探測光波,測量波長準確度高。

  • 實用的樣品測量功能

  可測量納米薄膜的膜厚和折射率、塊狀材料的復(fù)折射率。

  • 方便的儀器手動操作

      手動完成測量,儀器軟件輔助進行測量數(shù)據(jù)的分析。

  • 可擴展的儀器功能

  利用本儀器,可通過適當擴展,完成多項偏振測量實驗,如馬呂斯定律實驗、旋光測量實、旋光等。

應(yīng)用

EX1適合于教學領(lǐng)域,適用于單層納米薄膜的薄膜厚度測量,也可用于測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k。

EX1可測量的樣品涉及微電子、半導(dǎo)體、集成電路、顯示技術(shù)、太陽電池、光學薄膜、生命科學、化學、電化學、磁質(zhì)存儲、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等領(lǐng)域。

  

技術(shù)指標

項目

技術(shù)指標

儀器型號

EX1

測量方式

手動

樣品放置方式

水平放置

光源

He-Ne激光器,波長632.8nm

探測光束直徑

Φ2-3mm

入射角度

30°-90°,*.1°

偏振器方位角讀數(shù)范圍

0-360°

偏振器刻度

2°/格

偏振器zui小讀數(shù)

0.05°

樣品方位調(diào)整

Z軸高度調(diào)節(jié):10mm

二維俯仰調(diào)節(jié):±4°

允許樣品尺寸

樣品直徑可達Φ80mm

配套軟件

* 多個測量項目選擇

* 測量數(shù)據(jù)分析、計算、輸入輸出

zui大外形尺寸

約400*400*250mm

儀器重量(凈重)

約20Kg

選配件

* 半導(dǎo)體激光器

 注:(1)測量重復(fù)性:是指對標準樣品上同一點、同一條件下連續(xù)測量30次所計算的標準差。

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