氫化物氣相外延（HVPE）

牛津儀器zui近收購了Technologies and Devices公司（ TDI） 。 總部設(shè)在美國馬里蘭州銀泉的TDI是世界的發(fā)展生產(chǎn)新型化合物半導(dǎo)體，如GaN，AlN，AlGaN ，InN和InGaN的氫化物氣相外延（ HVPE ）工藝和技術(shù)的公司。 這些材料被用于各種應(yīng)用，zui主要的是固態(tài)照明，短波長光電子和射頻功率電子。

TDI生產(chǎn)的氮化物模板

 公司提供不同襯底上的各種材料，包括如下的:

氫化物氣相外延

在HVPE工藝過程中，III族氮化物（如GaN，AlN）是由熱的氣態(tài)金屬氯化物（如GaCl或AlCl）與氨氣（NH3） （參照如下公式）反應(yīng)形成的 。 金屬氯化物是熱的HCl氣體通過熱的III族金屬產(chǎn)生的。 所有反應(yīng)都是在溫度控制的石英爐內(nèi)進(jìn)行的。

如，熱 HCl （氣） + Ga （液） ------> GaCl （氣）
GaCl （氣） + NH3 （氣） -------> GaN （固） + HCl （氣） + H2 （氣）

GaN或AlN模板被生長在諸如SiC或藍(lán)寶石的襯底上。 可以通過在反應(yīng)過程中使用鎂來獲得p型的GaN或AlN，而通過通入氬氣作為載氣硅烷氣體來獲得n型材料。

HVPE的優(yōu)勢
HVPE發(fā)展于20世紀(jì)60年代，它是*個(gè)用于制造GaN單晶外延方法。 該技術(shù)的主要特點(diǎn)之一是它的高生長速率（zui高可達(dá)100微米/小時(shí)），這比一般的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積和分子束外延工藝要快幾乎兩個(gè)數(shù)量級。

該技術(shù)能夠生產(chǎn)無裂紋，高質(zhì)量的GaN外延層（例如，在一個(gè)生長在藍(lán)寶石上的GaN模板中，典型的位錯密度可低至107/cm3。 ）圖1表示了藍(lán)寶石上10微米厚的GaN模板的x射線衍射。 （002）面ω掃描的半高全寬是250弧秒，這么窄的半高全寬證明材料質(zhì)量十分優(yōu)異。

HVPE的另一個(gè)優(yōu)勢是它能夠生長用于光電子和射頻電子器件的厚的，高質(zhì)量的AlGaN和AlN。TDI已經(jīng)證明該技術(shù)能夠生長更厚、更高質(zhì)量的用于短波長發(fā)光器件的AlGaN基有源區(qū)，它具有高輻射復(fù)合效率，這是高效率紫外發(fā)光二極管一個(gè)基本特征。和金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積不一樣，HVPE工藝并不涉及金屬有機(jī)源，從而提供了一種'無碳'的外延生長環(huán)境。 此外，使用氣態(tài)的氯化氫還提供了一種雜質(zhì)自清潔效應(yīng)，使得外延層具有更低的背景雜質(zhì)和更有效的摻雜水平。

TDI已經(jīng)展示了業(yè)界*HVPE生長的多層膜的亞微米級AlGaN / GaN異質(zhì)結(jié)構(gòu)。

InGaN是一種用于制作GaN基藍(lán)光，綠光，白光發(fā)光二極管和藍(lán)光激光二極管的關(guān)鍵化合物半導(dǎo)體材料。 大多數(shù)現(xiàn)有的發(fā)光二極管依賴于金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積來生長InGaN量子阱結(jié)構(gòu)發(fā)光區(qū)。 zui近，TDI已經(jīng)發(fā)展了HVPE技術(shù)來控制InGaN的生長速率到制作量子阱結(jié)構(gòu)所需的非常低的水平，大約0.5至1微米/小時(shí).

本公司現(xiàn)貨產(chǎn)品

MX6復(fù)合氣體檢測儀    現(xiàn)貨美國英思科M40四合一氣體檢測儀

TN3紅外測溫儀     fluke 59mini紅外測溫儀   照度計(jì) CENTER337   tx2000 h2氫氣檢測儀   HI93734-01余氯、總氯（Cl2）配套試劑    HI93735-01總硬度配套試劑

3011食品中心溫度計(jì)  FD216測氡儀土壤取樣器  HGY2058在線電磁式酸堿濃度計(jì)

HGY2018在線PH計(jì)   RE5299 旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器  AR3130電子天平   SA1200（P）空氣消毒機(jī)

YSI85-10 手提式野外水質(zhì)測量儀  DO200在線溶解氧測定儀   YSI556MPS型多參數(shù)水質(zhì)檢測儀  3M6800防毒面罩  美國華瑞PGM-2400 四合一復(fù)合式氣體檢測儀  YSI3100 電導(dǎo)率儀   HT10S煙氣黑度照相測定儀  正壓式空氣呼吸器   COD-571-1型消解裝置

PPMhtv甲醛檢測儀  AD102農(nóng)藥檢測卡  DYM3型空盒氣壓表 PROVA5637鉤式接地電阻計(jì)   

PRM-3040射線檢測儀  美國MSA 10108311歐特防護(hù)眼鏡   PGM-1700 硫化氫便攜式氣體檢測儀   MIC-800-CO2便攜式二氧化碳檢測報(bào)警儀    MIC-500-CH4O 甲醇探測器

YSI 550A型便攜式溶氧儀  TES-1360A溫濕度計(jì)   GM1357聲級計(jì)

PGM-7840復(fù)合氣體檢測儀   GDYS-102SJ尿素測定儀   GDYS-101ST鐵測定儀

GDYS-101SC2臭氧測定儀   GDYN-110SA農(nóng)藥殘毒快速檢測儀（10通道）

GDYS-101SC2臭氧測定儀  D3A激光測距儀

本月*產(chǎn)品

現(xiàn)貨美國英思科M40四合一氣體檢測儀  M40硫化氫傳感器  PGM-7840復(fù)合氣體檢測儀   PGM-6208 6合一氣體檢測儀   FGM-1100 IR 可燃?xì)庠诰€監(jiān)測儀

PRM-1200（DoseRAE 2）射線檢測儀   FGM-3300 環(huán)氧乙烷（ETO）氣體檢測儀

M40一氧化碳傳感器     M40氧氣傳感器   PGM-1600可燃?xì)怏w報(bào)警儀

InGaN材料的發(fā)展將*允許使用HVPE法制造藍(lán)光和綠光發(fā)光二極管。TDIzui近已經(jīng)獲得了大量的由美國國防部高級研究計(jì)劃屬VIGIL計(jì)劃資助的資金，用以發(fā)展基于InGaN-GaN材料的綠光激光器技術(shù)。