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SU1510掃描電子顯微鏡

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更新時(shí)間:2015-11-13 21:43:26瀏覽次數(shù):617

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主機(jī)寬度僅為55cm體型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。

詳細(xì)介紹

                SU1510掃描電子顯微鏡

主機(jī)寬度僅為55cm體型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。
 

特點(diǎn)
1. 儀器主體比過(guò)去減小20%,可以更加自由地選擇安裝場(chǎng)地。
2. 標(biāo)配低真空功能,可以對(duì)不導(dǎo)電進(jìn)行無(wú)噴涂觀察。高低真空轉(zhuǎn)換一鍵完成。
3. 可載入zui大直徑153mm,高度為60mm(WD=15mm)的樣品,并進(jìn)行元素分析。
4. 強(qiáng)大的鼠標(biāo)控制功能,可實(shí)現(xiàn)電鏡的所有操作。
5. 分子泵真空系統(tǒng),潔凈無(wú)污染。

 項(xiàng)目  內(nèi)容
 二次電子分辨率  3.0nm(高真空,30kV)
 背散射電子分辨率  4.0nm(低真空:6Pa,30kV)
 倍率  5~300,000倍
 加速電圧  0.3~30 kV
 樣品臺(tái)  X            0~80 mm
 Y            0~40 mm
 Z            5~50 mm
 T            -20°~ 90°
 R            360°
 樣品臺(tái)控制  手動(dòng)(可選:2軸馬達(dá))
 zui大載入樣品尺寸  直徑:153 mm
 zui大觀察范圍  直徑:126 mm(XYR并用)
 zui大樣品高度  60 mm(WD=15 mm)
 低真空范圍  6-270Pa(從菜單設(shè)定)
 燈絲  預(yù)對(duì)中鎢燈絲
 物鏡光闌  4孔可變光闌
 槍偏壓  固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓和自動(dòng)4偏壓
 檢測(cè)器  二次電子檢測(cè)器,高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器
 EDX分析位置  WD=15,TOA=35°
 真空系統(tǒng)  分子泵1臺(tái),機(jī)械泵1臺(tái)
 安全措施  停電,漏電,自動(dòng)保護(hù)

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