產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
日立2011年新推出了SU8000系列高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡,其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm,并且在探測(cè)器設(shè)計(jì)上有新的突破,配置了Lower、Up-per和Top三個(gè)Everhart-Thornley型探測(cè)器,可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多種信號(hào),實(shí)現(xiàn)微區(qū)的形貌襯度、原子序數(shù)襯度、結(jié)晶襯度和電位襯度的觀測(cè);結(jié)合選配的STEM探測(cè)器,還可以實(shí)現(xiàn)明場(chǎng)像和暗場(chǎng)像的觀測(cè);此外在半導(dǎo)體應(yīng)用中,還可以安裝EBIC探測(cè)器,采集感生電流圖像,極大豐富了信號(hào)的采集,對(duì)樣品的信息的收集達(dá)到了新的高度。
特點(diǎn):
1. 優(yōu)秀的低加速電壓成像能力,1kv分辨率可達(dá)1.3nm
2. 日立的ExB設(shè)計(jì),不需噴鍍,可以直接觀測(cè)不導(dǎo)電樣品
3. 配置Lower、Upper和Top三個(gè)Everhart-Thornley型探測(cè)器
4. Upper和Top探頭均可選擇接受二次電子像或背散射電子像
5. 可以根據(jù)樣品類型和觀測(cè)要求選擇打開或關(guān)閉減速功能
6. 標(biāo)配有冷指、電子槍內(nèi)置加熱器,物鏡光闌具有自清潔功能
7. 儀器的烘烤維護(hù)及烘烤后的透鏡機(jī)械對(duì)中均可由用戶自行完成
項(xiàng)目 | SU8020 | SU8030 | SU8040 | |||||
二次電子分辨率 | 1.0nm (加速電壓15kV、WD=4mm) | |||||||
1.3nm (加速電壓1kV、WD=1.5mm) | ||||||||
加速電壓 | 0.1~30kV | |||||||
觀測(cè)倍率 | 20~8000,000(底片輸出) | |||||||
60~2,000,000(顯示器輸出) | ||||||||
樣品臺(tái) | ||||||||
馬達(dá)驅(qū)動(dòng) | 5軸 | REGULUS樣品臺(tái) | ||||||
行程 | X | 0~50mm | 0~110mm | |||||
Y | 0~50mm | 0~110mm | 0~80mm | |||||
Z | 360° | |||||||
T | -5~70° | |||||||
R | 1.5~30mm | 1.5~40mm | ||||||
zui大裝載尺寸 | 100mm(zui大) | 150mm(zui大) | 150mm(zui大) | |||||
150mm(選配) | 200mm(選配) | |||||||
探頭 | ||||||||
標(biāo)配 | Lower | 高立體感圖像 | ||||||
Upper | 高分辨SE、LA-BSE圖像 | |||||||
Top | SE的電位襯度像、HA-BSE圖像 | |||||||
選配 | STEM | 明場(chǎng)像、暗場(chǎng)像 | ||||||
YAG 探頭 | BSE圖像 | |||||||
半導(dǎo)體探頭 | BSE圖像 | |||||||
EBIC | 電子束感生電流圖像 | |||||||
EDS | 元素分析 | |||||||
反污染措施 | ||||||||
冷指 | 標(biāo)配 | |||||||
物鏡光闌 | 內(nèi)置自清潔功能 | |||||||
電子槍 | 內(nèi)置加熱器 | |||||||
真空系統(tǒng) | ||||||||
離子泵 | 3臺(tái) | |||||||
分子泵 | 1臺(tái) | |||||||
機(jī)械泵 | 1臺(tái) |
本公司現(xiàn)貨產(chǎn)品
MX6復(fù)合氣體檢測(cè)儀 現(xiàn)貨美國英思科M40四合一氣體檢測(cè)儀
TN3紅外測(cè)溫儀 fluke 59mini紅外測(cè)溫儀 照度計(jì) CENTER337 tx2000 h2氫氣檢測(cè)儀 HI93734-01余氯、總氯(Cl2)配套試劑 HI93735-01總硬度配套試劑
3011食品中心溫度計(jì) FD216測(cè)氡儀土壤取樣器 HGY2058在線電磁式酸堿濃度計(jì)
HGY2018在線PH計(jì) RE5299 旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器 AR3130電子天平 SA1200(P)空氣消毒機(jī)
YSI85-10 手提式野外水質(zhì)測(cè)量儀 DO200在線溶解氧測(cè)定儀 YSI556MPS型多參數(shù)水質(zhì)檢測(cè)儀 3M6800防毒面罩 美國華瑞PGM-2400 四合一復(fù)合式氣體檢測(cè)儀 YSI3100 電導(dǎo)率儀 HT10S煙氣黑度照相測(cè)定儀 正壓式空氣呼吸器 COD-571-1型消解裝置
PPMhtv甲醛檢測(cè)儀 AD102農(nóng)藥檢測(cè)卡 DYM3型空盒氣壓表 PROVA5637鉤式接地電阻計(jì)
PRM-3040射線檢測(cè)儀 美國MSA 10108311歐特防護(hù)眼鏡 PGM-1700 硫化氫便攜式氣體檢測(cè)儀 MIC-800-CO2便攜式二氧化碳檢測(cè)報(bào)警儀 MIC-500-CH4O 甲醇探測(cè)器
YSI 550A型便攜式溶氧儀 TES-1360A溫濕度計(jì) GM1357聲級(jí)計(jì)
PGM-7840復(fù)合氣體檢測(cè)儀 GDYS-102SJ尿素測(cè)定儀 GDYS-101ST鐵測(cè)定儀
GDYS-101SC2臭氧測(cè)定儀 GDYN-110SA農(nóng)藥殘毒快速檢測(cè)儀(10通道)
GDYS-101SC2臭氧測(cè)定儀 D3A激光測(cè)距儀
本月*產(chǎn)品
現(xiàn)貨美國英思科M40四合一氣體檢測(cè)儀 M40硫化氫傳感器 PGM-7840復(fù)合氣體檢測(cè)儀 PGM-6208 6合一氣體檢測(cè)儀 FGM-1100 IR 可燃?xì)庠诰€監(jiān)測(cè)儀
PRM-1200(DoseRAE 2)射線檢測(cè)儀 FGM-3300 環(huán)氧乙烷(ETO)氣體檢測(cè)儀
M40一氧化碳傳感器 M40氧氣傳感器 PGM-1600可燃?xì)怏w報(bào)警儀