目錄:上海倍藍(lán)光電科技有限公司>>隔振平臺(tái)>> 氣浮綜合性主動(dòng)隔振系統(tǒng)LaserTable-base
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更新時(shí)間:2024-09-30 12:15:13瀏覽次數(shù):446評(píng)價(jià)
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概述
LaserTable-Base™是現(xiàn)有光學(xué)平臺(tái)隔振技術(shù)的一大飛躍。通常,光學(xué)平臺(tái)由低頻氣動(dòng)隔振系統(tǒng)支撐。雖然在隔離高頻方面非常有效,但這些被動(dòng)系統(tǒng)實(shí)際上放大了關(guān)鍵的1至3 Hz范圍內(nèi)的振動(dòng)。
TMC的STACIS通過結(jié)合壓電致動(dòng)器和慣性振動(dòng)傳感器的專有技術(shù)克服了這些限制,可消除而不會(huì)放大極低頻振動(dòng)。LaserTable-Base將這兩項(xiàng)技術(shù)(空氣和STACIS)整合到一個(gè)集成的消振系統(tǒng)中。由于兩個(gè)串聯(lián)隔振系統(tǒng)的綜合效應(yīng),這實(shí)現(xiàn)了低頻率消振和**的高頻隔振水平。
LaserTable-Base的上部氣動(dòng)部分采用模塊化設(shè)計(jì),可互換。它可以結(jié)合TMC的Gimbal Piston、MaxDamp空氣隔振器或剛性、非隔振支架,具體取決于應(yīng)用要求。
規(guī)格
? 采用STACIS®技術(shù)
? 主動(dòng)慣性消振系統(tǒng)
? 消振從低于1 Hz開始
? 加長行程的壓電致動(dòng)器,高達(dá)60微米。
? 6個(gè)主動(dòng)自由度
? 由兩個(gè)串聯(lián)隔振系統(tǒng)組成,可實(shí)現(xiàn)**隔振效果
? 采用MaxDamp®空氣隔振器
? 簡單、堅(jiān)固且經(jīng)濟(jì)高效
? 可選的擱板,用于在工作臺(tái)下方安裝設(shè)備
? 包括TMC的DC-2020數(shù)字控制器
性能
將低頻、被動(dòng)MaxDamp®空氣隔振器與壓電主動(dòng)消振系統(tǒng)串聯(lián)在一起,可得到整體傳遞率曲線,即兩條單獨(dú)傳遞率曲線的總和。由此產(chǎn)生的隔振性能非常顯著,在某些頻率范圍內(nèi),我們受到測量儀器噪聲基底的限制。并且無法測量和演示完整的隔振性能。也就是說,在10-12 Hz以上,組合系統(tǒng)的實(shí)際性能預(yù)計(jì)將超過所示性能,因?yàn)榻M合隔振理論上是兩個(gè)子系統(tǒng)所提供的隔振的總和。
應(yīng)用照片
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