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主營產(chǎn)品： 讀數(shù)顯微鏡價(jià)格,測(cè)量投影儀,軸承測(cè)磁儀,雙色電刻機(jī),數(shù)顯傾角儀 |
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2020-12-21 閱讀(1749)
長(zhǎng)平晶的結(jié)構(gòu)用途及使用注意事項(xiàng)
核心摘要：簡(jiǎn)述長(zhǎng)平晶的結(jié)構(gòu)和用途。長(zhǎng)平晶是以等傾干涉法檢定研磨面平尺平面度的標(biāo)準(zhǔn)量具。長(zhǎng)平晶按尺寸分為210mm和310mm兩種。制造長(zhǎng)平品
簡(jiǎn)述長(zhǎng)平晶的結(jié)構(gòu)和用途。
長(zhǎng)平晶是以等傾干涉法檢定研磨面平尺平面度的標(biāo)準(zhǔn)量具。長(zhǎng)平晶按尺寸分為210mm和310mm兩種。制造長(zhǎng)平品的材料為K9光學(xué)玻璃。
長(zhǎng)平晶的非工作面上有表示受檢點(diǎn)位置的十字刻線，對(duì)于210mm長(zhǎng)平晶有7個(gè)十字刻線，刻線間隔為30mm，兩端十字刻線距端面為15mm;對(duì)于310mm長(zhǎng)平晶兩端十字刻線距端面為20mm，刻線間隔為30mm，共有9個(gè)間隔，另外在對(duì)稱中點(diǎn)位置上增加一個(gè)十字刻線，共有11個(gè)十字刻線。
長(zhǎng)平晶的外形圖如圖7-30所示。外形尺寸見表7-10。
長(zhǎng)平晶的外形尺寸 表7-10 | ||||
長(zhǎng)平晶長(zhǎng)度 | 寬度 | 厚度 |
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新制的 | 修理后的 |
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210mm±1 | 40±1 | 25±0.5 | ≥23 |
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310mm±1 | 30±0.5 | ≥27 |
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使用長(zhǎng)平晶時(shí)，考慮到其自重變形對(duì)測(cè)量的影響，且便于修正，應(yīng)使長(zhǎng)平晶支承在固定的位置上，并使工作面向下。一般常在工作面兩端研合兩塊尺寸差小于0.1μm的0級(jí)量塊;或用一鋼球支承架，如圖7-31所示，其支承鋼球的尺寸差應(yīng)在0.1μm以內(nèi)。長(zhǎng)平晶連同其支承一起放在被測(cè)表面上，用等傾干涉法進(jìn)行平面度測(cè)量。
長(zhǎng)平晶工作面平面度見表7-11。
表7-11 長(zhǎng)平晶工作面的平面度 | |||
規(guī)格/mm | 平面度/μm |
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在工作長(zhǎng)度內(nèi)(在無自重變形時(shí)) | 在橫向40mm內(nèi) |
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210 | -0.3~0 | 0.1 |
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310 | -0.45~-0.15 |
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長(zhǎng)平晶主要用于研磨面平尺平面度的檢定。
長(zhǎng)平晶使用時(shí)注意什么問題?
長(zhǎng)平晶使用時(shí)應(yīng)注意其支承與放置問題。
由于長(zhǎng)平晶屬細(xì)長(zhǎng)類形狀的量具，其自重變形的狀態(tài)和大小隨支承形式及支承位置的不同而變化，一般長(zhǎng)平晶不能像平面平品那樣直接置于被測(cè)表面上檢測(cè)。檢測(cè)時(shí)必須在規(guī)定位置上放上支承塊，一般可在工作面兩端研合兩塊尺寸差小于0.1μm的量塊，或用鋼球支承架。將長(zhǎng)平晶工作面向下安放在被檢表面上，用等傾干涉法檢測(cè)。
由于長(zhǎng)平晶自重的影響，因此長(zhǎng)平晶工作時(shí)其工作面的平面度應(yīng)包括長(zhǎng)平晶本身自重變形量。長(zhǎng)平晶各點(diǎn)的變形修正量按下式計(jì)算:
Fi=Δyi-△yo
式中Fi—長(zhǎng)平晶在i點(diǎn)的自重變形修正量，μm;
△yi—長(zhǎng)平晶在i點(diǎn)的自重變形量，μm;
△yo—長(zhǎng)平晶在。點(diǎn)的自重變形量，μm。
