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HTIM-300型高低溫材料電阻率測試儀

閱讀:54      發(fā)布時間:2025-03-31
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HTIM-300型高低溫材料電阻率測試儀


HTIM-300高低溫材料電阻率測試儀主要用于半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的評估和測試,該系統(tǒng)采用四線電阻法測量原理進(jìn)行設(shè)計(jì)開發(fā),可以在高溫、真空氣氛的條件下測量半導(dǎo)體材料電阻和電阻率,可以分析被測樣品電阻和電阻率隨溫度、時間變化的曲線。目前主要針對圓片、方塊、長條等測試樣品進(jìn)行測試,可以廣泛用于半導(dǎo)體材料硅(si)、鍺(ge),化合物半導(dǎo)體材料砷化鎵(GaAs)、銻化銦(InSb),三元化合物半導(dǎo)體GaAsAl、GaAsP,固溶體半導(dǎo)體,如Ge-Si、GaAs-GaP等的塊體材料的電阻率測量等材料的電阻率測量。

二、主要應(yīng)用領(lǐng)域:

半導(dǎo)體材料電阻測試

復(fù)合絕緣材料

陶瓷材料

云母

玻璃材料

導(dǎo)電功能薄膜材料

絕緣超材料

硅橡膠材料

PCB材料
三、主要技術(shù)參數(shù):
溫度范圍:-160℃-600℃
升溫斜率:0-10℃/min (典型值:3℃/min)
控溫精度:±0.5℃
電阻測量范圍:0.1mΩ~1MΩ
電阻率測量范圍:100nΩ..cm~100KΩ .cm
測量環(huán)境:惰性氣氛、還原氣氛、真空氣氛
測量方法:四線電阻法
測試通道:單通道
樣品尺寸:10mmx10mmX20mm或φ<20mm ,d<5mm
電極材料:紫銅鍍金
絕緣材料:99氧化鋁陶瓷
數(shù)據(jù)存儲格式:TXT文本格式
數(shù)據(jù)傳輸:USB
符合標(biāo)準(zhǔn):ASTM
供電:220V±10%,50Hz
工作溫度:5℃ 至 + 40 ℃;
存儲溫度:–40 ℃ 至 +65 ℃
工作濕度:+40 ℃ 時,相對濕度高達(dá) 95%(無冷凝)
設(shè)備尺寸:400x450x580mm
重量:38kg

 

案列:交付中科院上海微電子系統(tǒng)研究所

 

現(xiàn)場交付圖

能提供從-190℃到600℃溫度范圍內(nèi)的精準(zhǔn)控制。

 

   現(xiàn)場實(shí)驗(yàn)測試變溫電阻測試數(shù)據(jù)(二)

測試樣品為高阻材料,實(shí)驗(yàn)顯示隨溫度升高,材料電阻在高溫下驟降。在本次交付中,針對客戶需求,對配套軟件進(jìn)行了定制。

 

包含兩種測試模式:

①RT測試:樣品電阻隨溫度變化;

②數(shù)據(jù)時間譜測試:到達(dá)設(shè)定溫度后,樣品電阻隨時間變化。



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北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司

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