熬過疫情，走過2023，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)進(jìn)入了復(fù)蘇的節(jié)奏之中，無論是科技行業(yè)的產(chǎn)業(yè)終端還是半導(dǎo)體行業(yè)整體，需求規(guī)模都呈現(xiàn)出了上升向好的趨勢。伴隨著需求的上升，高質(zhì)量的芯片的需求也成為了剛需，更為精細(xì)高效的檢測設(shè)備及檢測方案已經(jīng)成為了明確的訴求。

Evident作為專業(yè)的光學(xué)儀器、檢測設(shè)備及解決方案提供商，針對半導(dǎo)體行業(yè)所產(chǎn)生的新需求不斷進(jìn)行探索，為半導(dǎo)體行業(yè)輸出了不少高效的定制化解決方案，為行業(yè)發(fā)展添磚加瓦。

2024年SEMICON CHINA，我們一起來看看Evident又帶來了什么驚喜給大家！

本次SEMICON，Evident再度攜旗下諸多旗艦產(chǎn)品，為半導(dǎo)體行業(yè)的客戶解決在各使用場景的不同檢測需求。

DSX1000數(shù)碼顯微鏡

AI助力如虎添翼

一直以來，顯微鏡都是晶圓檢測的重要工具，也是檢測流程中可以提升效率的一個切入點(diǎn)。而在晶圓檢測的流程中，需要多次更換鏡頭進(jìn)行檢測，無疑成為了影響效率的一大痛點(diǎn)。

(DSX1000應(yīng)用現(xiàn)場分享)

DSX1000數(shù)碼顯微鏡中的多款物鏡都支持多種觀察方式，可方便用戶快速確認(rèn)及選擇各類觀察圖像。配合多功能控制臺，可同時查看六種觀察方式下的樣品，極大程度上提升了觀察效率。搭配遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，使檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性有了保證。

本屆SEMICON中，Evident還創(chuàng)新展示了《顯微鏡最新AI解決方案》，并在DSX1000上展示AI閾值的一些應(yīng)用案例（金剛線、不良品檢測），并且將AI 閾值與傳統(tǒng)閾值的結(jié)果同時顯示在顯示屏上，會給觀眾更加直觀的感受。

OLS5100 3D測量激光顯微鏡

智能高效二者兼得

芯片制造工藝在近年飛速提升，這也對檢測的精度及效率提出了更高效率的要求。OLS5100 3D測量激光顯微鏡能夠兼顧智能檢測的同時，還保證了檢測的精度。

OLS5100 3D測量顯微鏡具備了亞微米3D觀察和表面粗糙度測量高水平的準(zhǔn)確性和精度，可以為用戶穩(wěn)定輸出可靠的數(shù)據(jù)。配套的智能實驗管理助手能夠自動執(zhí)行需要耗費(fèi)大量時間的任務(wù)，讓分析工作流程更加簡單。操作員只需將樣品放在載物臺上，按下開始鍵即可針對待測樣品進(jìn)行精細(xì)的形貌測量。

MX63L顯微鏡+AL120晶圓搬送機(jī)

大尺寸樣品檢測無憂

在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，對檢測準(zhǔn)確度的高要求毫無疑問非常關(guān)鍵。然而，對于檢測工作的靈活性需求也正變得日益重要。在這一背景下，MX63L顯微鏡與AL120晶圓搬送機(jī)的結(jié)合，于眾多明星產(chǎn)品中脫穎而出，特別適用于大尺寸樣本的檢測。這一組合可在高質(zhì)量檢測領(lǐng)域顯示出其優(yōu)勢，提供了靈活、便捷、高效的檢測解決方案。

MX63L顯微鏡借助其高級照明功能，能夠同時展示晶圓的電路圖樣和顏色信息，提高了圖像的銳度和清晰度，從而提升了工作效率和報告生成的質(zhì)量。結(jié)合AL120晶圓搬送機(jī)，可以快速且安全地將半導(dǎo)體晶圓從存儲盒中轉(zhuǎn)移到顯微鏡的載物臺上。得益于360度自動旋轉(zhuǎn)功能，檢測人員可以輕松地對晶圓的正反兩面進(jìn)行全面檢測，便于識別任何缺陷或塵埃。

全自動顯微鏡BXC系列組件

模塊化助力效率升級

這一系列專注于提供高品質(zhì)的全電動顯微鏡組件，其緊湊的結(jié)構(gòu)和自動聚焦模塊，專為OEM集成和開發(fā)設(shè)計。其多功能性和模塊化設(shè)計使其成為檢查和成像應(yīng)用的理想選擇，包括晶圓對準(zhǔn)、缺陷檢測和圖像拼接等多種工作流程。

多功能定向暗場功能，通過使用MIX滑塊實現(xiàn)的定向暗場技術(shù)，可以與明場、簡單偏光或熒光觀測相結(jié)合。此外，自動對焦裝置、各類物鏡轉(zhuǎn)盤等組件，可根據(jù)實際檢測需求進(jìn)行調(diào)整，讓定制化檢測需求成為可能。

大屏互動

引爆現(xiàn)場

本次SEMICON現(xiàn)場，我們采用了活動方式，吸引了諸多現(xiàn)場參展觀眾駐足，各類精彩定制好禮，為展會增添了別樣的趣味。

Evident相信，伴隨著半導(dǎo)體行業(yè)蒸蒸日上的、更有技術(shù)的突破以及檢測方式的創(chuàng)新，在中國半導(dǎo)體行業(yè)成長路上，Evident會繼續(xù)堅定的提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品及完善的解決方案。