2.自身清潔度測(cè)試：設(shè)備在出廠前，已經(jīng)AC100亞沸酸蒸超凈清洗器采用純酸和超純水進(jìn)行過(guò)多次清洗以及泄漏測(cè)試，但在設(shè)備運(yùn)輸安裝過(guò)程中，設(shè)備的潔凈狀態(tài)可能會(huì)有所變化。因此在設(shè)備安裝后，需要做自身清潔度測(cè)試，具體方法是：不放任何微波消 解管進(jìn)去，用純酸清洗至少三遍，每遍結(jié)束后從One-Way Vapor的排廢口取樣檢測(cè)，直至金屬雜質(zhì)含量達(dá)到要求。

    廢酸其實(shí)是酸蒸汽清洗過(guò)設(shè)備內(nèi)壁后冷凝而來(lái)的，即使已經(jīng)清洗過(guò)設(shè)備內(nèi)部，但金屬雜質(zhì)含量仍遠(yuǎn)低于原始濃硝酸，說(shuō)明了2個(gè)問(wèn)題：

    1)   清洗三遍后，設(shè)備內(nèi)部已經(jīng)基本潔凈；

    2)   通過(guò)亞沸蒸餾的方式，金屬雜質(zhì)都留在了酸液之中，所產(chǎn)生的蒸汽非常潔凈。