X射線熒光光譜儀的維護保養(yǎng)：

　　1、X射線熒光光譜儀中昂貴的部分是高壓 X射線光管，它是儀器的核心部件。X射線光管對冷卻水的溫度、壓力、電導率都有嚴格的要求，其佳冷卻水溫為 22℃～24℃，一般不能超過 30℃，超過 35℃則使用壽命會大大降低。內部循環(huán)水用于冷卻陽極靶附近的光管頭部分，因此要求內部循環(huán)水為電導率很低的去離子水（必須保證該冷卻水的電導率＜2 μs／cm），以防高壓擊穿導致 x射線光管損壞。

　　2、分光晶體是具有把 X 射線熒光按波長順序分開成光譜作用的晶體。影響分光晶體穩(wěn)定性的因素有：溫度、濕度、酸堿度等。

　　3、探測器性能一般用波高分布曲線的半寬高來衡量，若半寬高增大則說明分辨能力下降，檢測器品質變壞。

　　4、真空系統(tǒng)是X射線熒光光譜儀的重要組成部分。對于真空泵，主要是應該定期檢查真空泵油的油質和油量，檢查油質時如果有白色或黑色，就說明油質不正常，應該立即更換泵油。