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菲希爾X射線測厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XDL230元素與鍍層測量
元素測量范圍：Cl（17）--U（92），最多可測量 24 種元素 23 層鍍層。
手動 X/Y 平臺：移動范圍≥95x150mm，可用工作臺面≥420x450mm。
電動 Z 軸：支持手動 / 自動聚焦，可移動范圍≥140mm。
DCM 測量距離補償法：可遠(yuǎn)距離對焦測量腔體樣品，可達(dá) 80mm 深度。
可變高壓：滿足 30KV、40KV、50KV 三種可調(diào)節(jié)，以適應(yīng)不同測試需求。
準(zhǔn)直器：配備 φ0.3 的圓形準(zhǔn)直器。
測量誤差：當(dāng)鍍層厚度≥0.5um 時，頂層鍍層測量精度≤5%。
基本參數(shù)法：內(nèi)置 12 純元素頻譜庫，可實現(xiàn)無標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)情況下測量。
MQ 值顯示：用于判定測量程式是否與樣品匹配，避免誤操作。
標(biāo)準(zhǔn)片：配備 12 種基準(zhǔn)純元素（Ag,Cu,Fe,Ni,Zn,Zr,Mo,Sn,W,Au,Pb,Cr）。
