產(chǎn)品簡介
采用光學(xué)和非接觸方法探測焦距的方法,測量不會給樣品造成變形或劃痕等影響,這些往往是采用物理性接觸測量時(shí)產(chǎn)生的?;谀繕?biāo)分光方法原理的精密聚焦指示器的應(yīng)用,以簡單地把兩個目標(biāo)標(biāo)志部分重合起來進(jìn)行高精度的測量..
詳細(xì)介紹
品牌:產(chǎn)地:日本 非接觸式深度測量工具顯微鏡 UNION顯微鏡 UNION測量顯微鏡
Z軸測量誤差:1微米 (40×) 讀數(shù)精度0.1微米
日本雙面儀UnionDH2-AM 高精度非接觸深度測量顯微鏡
采用光學(xué)和非接觸方法探測焦距的方法,測量不會給樣品造成變形或劃痕等影響,這些往往是采用物理性接觸測量時(shí)產(chǎn)生的?;谀繕?biāo)分光方法原理的精密聚焦指示器的應(yīng)用,以簡單地把兩個目標(biāo)標(biāo)志部分重合起來進(jìn)行高精度的測量..
功能:
非接觸測量微細(xì)的撞擊、臺階等。
◎ 通過高精度的光學(xué)聚焦點(diǎn)檢測和精確的聚焦指示器完成高精確的測量
◎ 簡單的操作
◎ Z軸測量行程可從幾個μm 到25mm
◎ 同時(shí)還可以完成測量點(diǎn)的表面觀察
HISOMET系列工具顯微鏡為一專業(yè)X、Y、Z軸座標(biāo)測量顯微鏡,X、Y工作臺行程由100*200mm到大行程500*500mm,放大倍數(shù)由5至1000×。為求提高工件在Z軸深度/高度測量時(shí)的精度,Z軸對焦采用一光學(xué)“裂像指示器”,結(jié)合精密的Z軸“Cross Roller Bearing”導(dǎo)軌,可測范圍25 mm,測量誤差1μm
技術(shù)規(guī)格
型號:DHII
工作臺行程:100*200mm/150*300mm/500*500mm
Z軸測量范圍:25mm/25mm/25mm
三軸分解度:0.001mm
標(biāo)準(zhǔn)目鏡:10X
標(biāo)準(zhǔn)物鏡:10X
物鏡:
5倍,10倍,20倍,50倍
選配: 100×