紅外顯微鏡測(cè)量方式你還不知道嗎？

閱讀：954發(fā)布時(shí)間：2019-4-16

　　紅外顯微鏡是將紅外光譜儀與光學(xué)顯微鏡聯(lián)用的系統(tǒng)。主要由紅外主機(jī)、顯微鏡系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)組成。由于其精密性，多采用干涉原理，主要部件包括干涉儀、顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)、檢測(cè)器等。由紅外光源發(fā)出的光經(jīng)分束器分為兩束光，一束由動(dòng)鏡經(jīng)分束器反射到樣品后進(jìn)入檢測(cè)器；另一束由定鏡反射經(jīng)分束器、樣品后到檢測(cè)器，兩束光作用于樣品，并在檢測(cè)器處發(fā)生干涉。干涉儀將光源來(lái)的信號(hào)經(jīng)過(guò)樣品后以干涉圖的形式送往計(jì)算機(jī)進(jìn)行傅里葉變換的數(shù)學(xué)處理，后將干涉圖還原為光譜圖。

　　工作原理：

　　樣品放置在紅外顯微鏡的載物臺(tái)上，光譜儀產(chǎn)生光束射向并聚焦到待測(cè)樣品，可以進(jìn)行上下高度的光路聚焦。通過(guò)調(diào)節(jié)載物臺(tái)X軸和Y軸以及調(diào)節(jié)光柵，可以確定測(cè)試的樣品以及樣品中不同的微區(qū)。紅外顯微鏡測(cè)量出顆粒的光譜反射光束，從而對(duì)樣品進(jìn)行點(diǎn)、線、面的分子水平的掃描，可以快速、自動(dòng)獲得大量的紅外光譜圖，并把測(cè)量點(diǎn)的坐標(biāo)與對(duì)應(yīng)的紅外光譜同時(shí)存入計(jì)算機(jī)。經(jīng)過(guò)一定的數(shù)據(jù)處理便得到不同化學(xué)官能團(tuán)及化合物在微區(qū)分布的三維立體圖或平面圖，并以彩色圖像的形式顯示在屏幕上。不同顏色代表該區(qū)域某一基團(tuán)的吸光度不同。通過(guò)成分圖像分析，可以獲得樣品的空間分辨紅外譜圖和某一微小區(qū)域內(nèi)成分圖像，從而可以分析樣品在各掃描微區(qū)的組分及結(jié)構(gòu)特征，因此可以表征樣品的結(jié)構(gòu)、官能團(tuán)的空間分布及其變化等。

　　紅外顯微鏡測(cè)量方式：

　　按其光路系統(tǒng)的差異，一般分為非同軸光路顯微鏡和同軸光路顯微鏡兩大類。非同軸光路顯微鏡是較早推出使用的一類顯微鏡，具有透射式和反射式兩種操作功能。同軸光路顯微鏡是另一類顯微鏡，也具有透射式和反射式兩種操作模式。也可以采用衰減全反射模式，它采用的是硅晶體。

　　根據(jù)顯微鏡所測(cè)樣品的形態(tài)、性質(zhì)和測(cè)試要求，可以選擇透射、反射、衰減全反射三種測(cè)試模式。透射模式是測(cè)定樣品的主要方法，可提供較好的信噪比，適應(yīng)于測(cè)試透光性較好的樣品，如厚度小于20μm的薄膜、固體切片；反射模式是效率較高的一種測(cè)試方法，適應(yīng)于測(cè)定背景比較光亮、光反射較強(qiáng)的樣品，如微小顆粒樣片；紅外顯微鏡的衰減全反射模式，在某些情況下是*的一種測(cè)量方法，適應(yīng)于測(cè)定需進(jìn)行表面成分或表面污染物分析的樣品。

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