電子工業(yè)無(wú)塵廠(chǎng)房檢測(cè)

潔凈室檢測(cè)檢測(cè)項(xiàng)目

（1）風(fēng)量或風(fēng)速

（2）靜壓差

（3）高效過(guò)濾器檢漏

（4）塵埃粒子數(shù)

（5）氣流流型

（6）溫度和相對(duì)濕度

（7）噪聲

（8）照度

（9）自?xún)魰r(shí)間

（10）密閉性測(cè)試

（11）懸浮微生物采樣

電子工業(yè)無(wú)塵廠(chǎng)房檢測(cè)依據(jù)

引用標(biāo)準(zhǔn)GB 50472-2008電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范

引用標(biāo)準(zhǔn)GB 50591-2010潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)

（1）風(fēng)量或風(fēng)速

1.對(duì)于單向流潔凈室,應(yīng)采用截面平均風(fēng)速和截面乘積的方法確定送風(fēng)量,并應(yīng)取離高效過(guò)濾器300mm垂直于氣流的截面作為測(cè)試平面。應(yīng)將測(cè)試平面分成相等的柵格,每個(gè)柵格尺寸應(yīng)為600mm×600mm或末端空氣過(guò)濾器尺寸,測(cè)點(diǎn)應(yīng)在柵格中或不應(yīng)少于3點(diǎn)。每一點(diǎn)的測(cè)試時(shí)間不應(yīng)少于10s。應(yīng)記錄平均值、大值和小值,并應(yīng)以算術(shù)平均值作為平均風(fēng)速。

2.對(duì)于非單向流潔凈室,每一點(diǎn)的測(cè)試時(shí)間不應(yīng)少于10s。

3.在每個(gè)末端空氣過(guò)濾器或散流器處,應(yīng)采用風(fēng)口法、風(fēng)管法、風(fēng)罩法等測(cè)量送風(fēng)風(fēng)速確定送風(fēng)量,每個(gè)測(cè)試位置的測(cè)點(diǎn)數(shù)不應(yīng)少于3點(diǎn)。

（2）靜壓差

1.靜壓差的測(cè)定應(yīng)在所有的門(mén)關(guān)閉時(shí)進(jìn)行。

2.儀器宜采用各種型式的微壓計(jì),儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。

3.潔凈廠(chǎng)房有多個(gè)潔凈室(區(qū))時(shí),應(yīng)從里面的房間與相鄰房間的壓差測(cè)試開(kāi)始,并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測(cè)。  

（3）高效過(guò)濾器檢漏

1.儀器應(yīng)使用采樣量大于1l/min的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。

2.應(yīng)在過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1m(0.5gm)粒子,粒子濃度應(yīng)大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過(guò)濾器表面20~30mm處,并應(yīng)以5~20mm/s速度移動(dòng)。應(yīng)檢測(cè)包括過(guò)濾器的整個(gè)面和過(guò)濾器周邊、過(guò)濾器框架及其密封處的掃描。 

（4）懸浮粒子數(shù)

1.應(yīng)使用采樣量大于1l/min光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器,應(yīng)根據(jù)粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計(jì)數(shù)效率等要求需用塵埃粒子計(jì)數(shù)器。

2.少采樣點(diǎn)應(yīng)按下式計(jì)算:

NL=A0.5

式中NL---------少采樣點(diǎn)

A-----------潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積(m2)。

采樣點(diǎn)應(yīng)均勻分布于潔凈室(區(qū))的整個(gè)面積內(nèi),并應(yīng)位于工作區(qū)的高度。

3.每一采樣點(diǎn)的每次采樣量應(yīng)按下式確定:

Vs=（20/Cn，m）x100

式中Vs------每個(gè)采樣點(diǎn)的每次采樣量,以l表示,當(dāng)V很大時(shí),可使用順序采樣法。每個(gè)采樣點(diǎn)的小采樣時(shí)間為1min,采樣量應(yīng)至少為2l

Cn.m------被測(cè)潔凈室空氣潔凈度等級(jí)的被測(cè)粒徑的限值(p/m3);

20------在規(guī)定被測(cè)粒徑粒子的空氣潔凈度等級(jí)限值時(shí),可測(cè)到的粒子顆數(shù)(顆)。

4.當(dāng)潔凈室(區(qū))僅有一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí),則在該點(diǎn)應(yīng)至少采樣3次

（5）氣流流型

1.氣流流型的檢測(cè),宜采用氣流目測(cè)法。

2.氣流目測(cè)法有示蹤線(xiàn)法、示蹤劑注入法,并應(yīng)用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線(xiàn)法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應(yīng)成為潔凈室(區(qū))的一種污染源。

3.示蹤線(xiàn)法應(yīng)為通過(guò)觀察放置在測(cè)試桿末端或氣流中細(xì)鋼絲格柵上的絲線(xiàn)或單根尼龍纖維等,直接目測(cè)得到氣流方向或因干擾引起的波動(dòng)。

4.示蹤劑注入法,可采用純水噴霧或化學(xué)法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性,在高強(qiáng)度光源下進(jìn)行觀察或做成圖像。

5.應(yīng)采用圖像處理技術(shù)進(jìn)行氣流目測(cè),本法一般是與示蹤結(jié)合,將在攝像機(jī)或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。

6.氣流目測(cè)的測(cè)點(diǎn)位置、儀器等,應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))

 （6）溫度、相對(duì)濕度

1.溫度、相對(duì)濕度的檢測(cè)應(yīng)在潔凈室(區(qū))內(nèi)氣流分布均勻狀態(tài)測(cè)試,并應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后安排進(jìn)行。溫度、相對(duì)濕度檢測(cè)應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)運(yùn)轉(zhuǎn),并應(yīng)至少穩(wěn)定運(yùn)行1.0h后運(yùn)行。

2.相對(duì)濕度檢測(cè)應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積網(wǎng)格,每格大面積應(yīng)為100m2,應(yīng)每格一個(gè)測(cè)點(diǎn),但每個(gè)房間不應(yīng)少于2個(gè)測(cè)點(diǎn)。

3.檢測(cè)用探測(cè)器應(yīng)設(shè)在潔凈室(區(qū))內(nèi)的工作高度,且距潔凈室(區(qū))的吊頂、墻和地面不應(yīng)少于300mm。并應(yīng)考量潔凈室(區(qū))內(nèi)可能存在的熱源的影響。

4.檢測(cè)時(shí)間應(yīng)至少1.0h,并應(yīng)至少6min進(jìn)行1次(30s)讀數(shù),記錄。

（7）噪聲

1.潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測(cè)應(yīng)采用帶倍頻程分析的聲級(jí)計(jì)。

2.潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測(cè)點(diǎn)宜距地面1.1~1.5m,距墻應(yīng)大于3m;檢測(cè)點(diǎn)的布置宜按潔凈室(區(qū))面積均分,宜每100m2設(shè)一檢測(cè)點(diǎn)  

（8）照度

1.潔凈室(區(qū))內(nèi)照度檢測(cè)宜采用便攜式自動(dòng)記錄照度計(jì)。

2.照度檢測(cè)應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進(jìn)行。潔凈室(區(qū))照度檢測(cè)不應(yīng)包括生產(chǎn)設(shè)備等的局部照明和備用照明。

3.照度檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)設(shè)在工作高度,宜距地面0.85m,應(yīng)每25m2設(shè)一個(gè)測(cè)點(diǎn)。

 （9）自?xún)魰r(shí)間

1.自?xún)魰r(shí)間檢測(cè),宜用于非單向流潔凈室。

2.自?xún)魰r(shí)間的檢測(cè),宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn),并宜以粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測(cè),同時(shí)應(yīng)符合下列要求:

①以大氣塵為基準(zhǔn)時(shí),則必須將潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時(shí)間在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時(shí),測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N0)。然后開(kāi)機(jī),定時(shí)讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次),直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來(lái)的穩(wěn)定狀態(tài),記錄下所需的時(shí)間(t)。

②以人工塵源為基準(zhǔn)時(shí),應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心,發(fā)煙1~2min后停止,等待1min,測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開(kāi)機(jī),方法同上。

3.由初始濃度(N)、室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度(N)、實(shí)際換氣次數(shù)(n),可得到計(jì)算自?xún)魰r(shí)間(t0),與實(shí)測(cè)自?xún)魰r(shí)間(t)進(jìn)行對(duì)比如果t≤1.2t0,為合格。

4.自?xún)魰r(shí)間檢測(cè)方法除上述方法外,還有微粒濃度變化率評(píng)估法等。自?xún)魰r(shí)間檢測(cè)方法應(yīng)洽商確定。

（10）密閉性檢測(cè)

1.密閉性檢測(cè)或稱(chēng)抑制滲漏測(cè)試,是測(cè)定潔凈室(區(qū))有無(wú)受污染的空氣從周?chē)哂邢嗤虿幌嗤o壓的較低潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))或非潔凈室(區(qū))侵入。本檢測(cè)一般用于ISO1~5級(jí)潔凈室(區(qū))。

2.采用粒子計(jì)數(shù)器法檢測(cè)潔凈室(區(qū))的密閉性,檢測(cè)時(shí)應(yīng)先測(cè)量緊靠被測(cè)圍護(hù)結(jié)構(gòu)表面外部的懸浮粒子濃度,一般此濃度應(yīng)比潔凈室(區(qū))內(nèi)濃度大104,并大于等于3.5×106個(gè)/m3待測(cè)粒徑的粒子。

3.潔凈室(區(qū))的施工接縫,包括對(duì)墻板、吊頂?shù)慕涌p和管線(xiàn)、燈具等的接縫的滲漏檢測(cè)，應(yīng)在被測(cè)部位的50~100mm處掃描,其掃描速度為50mm/s。

潔凈室敞開(kāi)門(mén)處的滲漏檢測(cè),應(yīng)在距離門(mén)0.3~3.0m處測(cè)定潔凈室內(nèi)的懸浮粒子濃度。

記錄并報(bào)告比測(cè)得的外部相同粒徑粒子濃度大于10-3倍的讀數(shù)和位置。

（11）懸浮微生物的采樣

1.采用無(wú)源采樣裝置,如培養(yǎng)皿

2.采用有源采樣裝置,如撞擊采樣器、離心采樣器、過(guò)濾采樣器。

3.空氣潔凈環(huán)境中懸浮微生物的靜態(tài)或空態(tài)檢測(cè)前,應(yīng)對(duì)各類(lèi)表面進(jìn)行擦拭消毒,但不得對(duì)室內(nèi)空氣進(jìn)行熏蒸、噴灑之類(lèi)的消毒。動(dòng)態(tài)檢測(cè)均不得對(duì)表面和空氣進(jìn)行消毒。

4.懸浮微生物檢測(cè)應(yīng)符合下列要求

①使用直徑90mm(90)的培養(yǎng)皿采樣。當(dāng)采用其他直徑培養(yǎng)皿時(shí),應(yīng)使其總面積和90皿總面積相當(dāng)。

②培養(yǎng)皿中灌注胰蛋白酶大豆瓊脂培養(yǎng)基,必須留樣作陰性對(duì)照。

③培養(yǎng)皿表面應(yīng)經(jīng)適當(dāng)消毒清潔處理后,布置在有代表性的地點(diǎn)和氣流擾動(dòng)極小的地點(diǎn)。在亂流潔凈室內(nèi)培養(yǎng)皿不應(yīng)布置在送風(fēng)口正下方。

④當(dāng)用戶(hù)沒(méi)有特定要求時(shí),培養(yǎng)皿應(yīng)布置在地面及其以上8m之內(nèi)的任意高度。

⑤每一間潔凈室或每一個(gè)控制區(qū)應(yīng)設(shè)1個(gè)陰性對(duì)照皿。

⑥動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)時(shí)也可協(xié)商布點(diǎn)位置和高度。

⑦培養(yǎng)皿數(shù)應(yīng)不少于微粒計(jì)數(shù)濃度的測(cè)點(diǎn)數(shù),如工藝無(wú)特殊要求應(yīng)大于等于表1中的少培養(yǎng)皿數(shù),另外各加1個(gè)對(duì)照皿。

⑧當(dāng)延長(zhǎng)沉降時(shí)間時(shí),可按比例減少少培養(yǎng)皿數(shù),為防止脫水,長(zhǎng)沉降時(shí)間不宜超過(guò)1h,當(dāng)所需沉降時(shí)間超過(guò)1b可重疊多皿連續(xù)采樣。除非經(jīng)過(guò)驗(yàn)證,證明更長(zhǎng)的沉降時(shí)間可以基本按比例增加菌落數(shù)。

⑨培養(yǎng)皿應(yīng)從內(nèi)向外布置,從外向內(nèi)收皿。

⑩每布置完1個(gè)皿,皿蓋只允許斜4放在皿邊上,對(duì)照皿蓋挪開(kāi)即蓋上。

?布皿前和收皿后,均應(yīng)用雙層包裝保護(hù)培養(yǎng)皿,以防污染。

?收皿后皿應(yīng)倒置擺放,并應(yīng)及時(shí)放入培養(yǎng)箱培養(yǎng),在培養(yǎng)箱外時(shí)間不宜超過(guò)2h。如無(wú)專(zhuān)業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定,對(duì)于檢測(cè)細(xì)菌總數(shù),培養(yǎng)溫度采用(35~37)℃,培養(yǎng)時(shí)間為(24~48)h;對(duì)于檢測(cè)真菌,培養(yǎng)溫度(27~29)℃,培養(yǎng)時(shí)間3d。

?布皿和收皿的檢測(cè)人員必須穿無(wú)菌服,但不得穿大褂。頭、手均不得裸露,褲管應(yīng)塞在襪套內(nèi),并不得穿拖鞋。

?對(duì)培養(yǎng)后的皿上菌落計(jì)數(shù)時(shí),應(yīng)采用5~10倍放大鏡查看,若有2個(gè)或更多的菌落重疊,可分辨時(shí)則以2個(gè)或多個(gè)菌落計(jì)數(shù)。

?每皿平均菌落數(shù)取到小數(shù)點(diǎn)后1位。

?動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)時(shí)每點(diǎn)疊放多個(gè)平皿或采用可自動(dòng)切換的儀器,每點(diǎn)應(yīng)采滿(mǎn)4h以上,每皿采30min。當(dāng)只放1個(gè)皿時(shí),可少于4h,但不可少于1h。