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主要用途：高溫快速熱處理退火爐主要用于離子注入后快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火、氧化物生長(zhǎng)。
雙側(cè)滑軌式快速退火爐1200℃
產(chǎn)品用途：
高溫快速熱處理退火爐主要用于離子注入后快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火、氧化物生長(zhǎng)，其它快速熱處理工藝。
產(chǎn)品結(jié)構(gòu)：
1、采用進(jìn)口鎢燈管為發(fā)熱元件，升溫速度高達(dá)200℃/s;
2、爐膛材料采用進(jìn)口陶瓷纖維，內(nèi)有進(jìn)口氧化鋁涂層，抗熱沖擊；
3、保護(hù)管采用高純石英管，可沖入多種氣體；
4、石英管兩端采用不銹鋼密封法蘭，耐高溫、耐腐蝕；
5、滑軌采用鋁合金*滑道；
6、爐體采用雙層空氣隔熱技術(shù)，配有自動(dòng)冷卻風(fēng)扇，降低爐體外殼溫度；
| 技術(shù)參數(shù) | ||||
| 產(chǎn)品名稱 | 單位 | 型號(hào) | ||
| JZ-5-10 | JZ-6-10 | JZ-7-10 | ||
| 額定功率 | kw | 9 | 9 | 9 |
| 額定電壓 | v | 220 | 220 | 220 |
| 溫度 | ℃ | 1000 | 1000 | 1000 |
| 工作溫度 | ℃ | ≤950 | ≤950 | ≤950 |
| 相數(shù) | 相 | 三 | 三 | 三 |
| 加熱區(qū) | mm | 350 | 350 | 350 |
| 石英管 | 直徑 | Φ50 | Φ60 | Φ70/80 |
| 長(zhǎng)度 | L=1300 | L=1300 | L=1300 | |
| 氣體流量 | L/min | 0~7 | 0~7 | 0~7 |
| 爐膛材料 | 進(jìn)口纖維 | 進(jìn)口纖維 | 進(jìn)口纖維 | |
| 滑軌長(zhǎng)度 | mm | 1350 | 1350 | 1350 |
| 真空度 | 可選機(jī)械泵（6.67pa）或擴(kuò)散泵（6.67*10-2） | |||
| 標(biāo)配件 | 高溫鉤，高溫堵頭，石英舟，高溫手套。 | |||
