主動(dòng)消振臺/防震臺/消震臺AVI系列

  六軸方向自由度防振臺，高負(fù)載主動(dòng)防振臺。系統(tǒng)內(nèi)部反饋回路抑制所有機(jī)械共振，低頻隔振性能穩(wěn)定 ，無低頻共振、無空氣要求!自動(dòng)調(diào)節(jié)負(fù)載 ，即插即用 ，LCD顯示屏實(shí)時(shí)顯示振動(dòng)情況，多種面板定制選擇，AVI-400XL主動(dòng)防振臺主要應(yīng)用體積大中心高精密光學(xué)設(shè)備，光刻機(jī)防振臺，半導(dǎo)體檢測防震臺等。。AVI系列主動(dòng)消振臺/防震臺/消震臺

產(chǎn)品亮點(diǎn)： 

六個(gè)空間方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主動(dòng)隔振, >200Hz被動(dòng)隔振)

5-20ms響應(yīng)時(shí)間                                         

低頻隔振性能優(yōu)異,安裝和使用簡單

系統(tǒng)主動(dòng)檢測輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除

緊湊、模塊化的多功能設(shè)計(jì)

穩(wěn)定性高，能*連續(xù)使用多年

無低頻共振、無空氣要求

應(yīng)用范圍：

超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）

光刻工具

高精度計(jì)量工具

光譜儀器

升級選項(xiàng)：

可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來增強(qiáng)低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。

技術(shù)參數(shù)：

型號：AVI-400S/LP

系統(tǒng)配置：獨(dú)立隔振裝置 & 控制裝置

主動(dòng)隔振范圍：大致為1.0 Hz - 200 Hz

被動(dòng)隔振范圍:大致為200 Hz以上

顯示屏信號:多路復(fù)用信號用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動(dòng)水平。

LEDs 指示輸出階段的過載情況。

單元尺寸(每個(gè)):190 x 396 x 112.5 Hmm

控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm

隔振單元重量:  15kg

負(fù)載能力:800 kg (同等/低重心)

輸入電壓: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

功耗：通常18W

溫度范圍：5℃ - 40℃

相對濕度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)

室內(nèi)/室外使用：僅用于室內(nèi)

隔振效果：

性能對比圖：SEM的研究人員在兩種*條件下進(jìn)行成像： 不含隔振系統(tǒng)和包含AVI-400系列隔振臺。當(dāng)使用AVI系列隔振臺搭載SEM時(shí)，所得圖像表明圖像質(zhì)量和整體測量清晰度得到大幅提升。