EddyCus TF inline薄膜電阻率在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

EddyCus TF inline薄膜電阻率在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)一款適合薄膜電阻率在線監(jiān)測(cè)，動(dòng)態(tài)檢測(cè)產(chǎn)品質(zhì)量，實(shí)時(shí)測(cè)量產(chǎn)線上薄膜面電阻（方塊電阻）及薄膜厚度測(cè)量的解決方案。

特點(diǎn)

非接觸與實(shí)時(shí)測(cè)量準(zhǔn)確測(cè)量高度可變性和靈活性在真空內(nèi)-和真空外的解決方案固定傳感器和穿越式解決方案單線和多線解決方案高達(dá)每秒1000次的高采樣率

參數(shù)

薄膜電阻（歐姆/平方）
金屬層厚度（nm、μm）
金屬基板厚度（μm）
各向異性
缺陷
完整性評(píng)定
 

應(yīng)用
建筑玻璃（LowE）
觸摸屏和平板顯示器
OLED和LED應(yīng)用
智能玻璃的應(yīng)用
透明防靜電鋁箔
光伏
半導(dǎo)體
除冰和加熱應(yīng)用
電池和燃料電池
包裝材料

材料
金屬薄膜和柵格
導(dǎo)電氧化物
納米線膜
石墨烯、CNT（碳納米管）、石墨
打印薄膜
導(dǎo)電聚合物（PEDOT:PSS）
其他導(dǎo)電薄膜及材料

規(guī)格參數(shù)
薄膜電阻測(cè)量技術(shù)：非接觸式渦流傳感器
基板：例如：薄膜、玻璃、晶圓，等等
測(cè)量間隙尺寸：5 / 10 / 15 / 25 / 50 / 75 mm
傳感器對(duì)數(shù) / 監(jiān)控線數(shù)：1 - 99
傳感器尺寸 (W x L x H)：
M 型傳感器：80 x 100 x 66 mm
S 型傳感器：34 x 48 x 117 mm
導(dǎo)電層：金屬/ TCOs/ CNTs/ 納米線/ 石墨烯/ 柵格/ PEDOT/其它

薄膜電阻的范圍：
低      0.0001 - 10 Ohm / sq; 2 至 7 % 精度
標(biāo)準(zhǔn)    0.01 - 1,000 Ohm / sq; 2 至 7 % 精度
高      10 - 100,000 Ohm / sq; 3 至 8 % 精度
金屬膜的厚度測(cè)量（例如：鋁、銀、鉬、銀漿）：2 nm - 2 mm (與薄膜電阻一致)
其它集成的測(cè)量：金屬厚度/光透明性/密度/電性各向異性
環(huán)境：在真空外/在真空內(nèi) @ T < 60°C / 140°F (根據(jù)要求 <90°C / 194°F)
采樣率：1 / 10 / 50 / 100 / 1,000 次測(cè)量每秒
硬件觸發(fā)：5, 12, 24 V
界面：UDP、DOT Net libraries、TCP、Modbus、模擬/數(shù)字