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產(chǎn)品簡介
Suragus EddyCus® TF系列電阻率、面電阻測量儀適用于玻璃、硅、塑料基板上的導電性薄膜的面電阻和厚度的測量，同時也適用于多種單層膜材料厚度的實時測量。
詳細介紹
EddyCus® TF系列電阻率、面電阻測量儀
EddyCus® TF系列電阻率、面電阻測量儀是一款適合實驗室研發(fā)或成品檢測使用的面阻及膜厚實時測量儀器。其應用領域廣泛，不僅適用于玻璃、硅、塑料基板上的導電性薄膜的面電阻和厚度的測量，同時也適用于多種單層膜材料厚度的實時測量。根據(jù)傳感器之間距離的不同，EddyCus TF lab可滿足不同的測試需求，傳感器標準距離為10mm，大距離可至60mm。
應用領域：
·薄膜面電阻的測量
·薄膜厚度的測量
·導電性基板厚度的測量
·與電阻相關(guān)的其他參數(shù)的測量
技術(shù)特點：
·非接觸式實時測量
·可實現(xiàn)對幾乎所有平面樣品的測量
·測量傳感器與樣品之間的距離及測量 點的大小可調(diào)
·掃頻范圍可達256個頻率點
·薄膜厚度測量精度至納米量級
·操作簡單，軟件功能豐富
技術(shù)指標 | EddyCus® TF lab-1 | EddyCus® TF lab-2 | |
傳感器之間距離 | 10mm | up to 60 mm possible | |
厚度測量 范圍 | 高導電率材料 (大于 10 MS/m) | 5 nm – 50 µm | 5 nm – 100 µm |
低導電率材料 (小于 10 MS/m) | 10 nm – 1 mm | 10 nm – 250 µm | |
面阻測量范圍 | 0,01 – 1000 ?/sq | ||
導電率范圍 | 1– 67 MS/m | ||
薄膜厚度測量精度 | ± 10% from <20 nm | ||
面電阻測量精度 (e.g. TCO) | ± 2,5% from 0,01 – 20 ?/sq | ||
傳感器 | 可根據(jù)不同應用要求配置合適的傳感器 | ||